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文献类型

  • 1篇中文科技成果

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇探测器
  • 1篇微结构材料
  • 1篇PIN探测器
  • 1篇MOCVD
  • 1篇INGAAS

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇张岚
  • 1篇沈浩赢
  • 1篇朱顺才
  • 1篇黄子乾
  • 1篇李肖

年份

  • 1篇2003
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
InGaAs PIN探测器用MOCVD微结构材料
黄子乾李肖张岚朱顺才沈浩赢
该项目研究开发了INGaAs PIN探测器MOCVD外延片生长技术,在国内率先解决了高纯的INGaAs、InGaAsP及InP材料的生长技术;厚外延层材料生长技术;多片均匀性控制技术三项关键技术的研究。 材料的技术指标:...
关键词:
关键词:INGAASPIN探测器MOCVD微结构材料
共1页<1>
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