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焦刚
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6
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供职机构:
中国电子科技集团公司第五十五研究所
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
陈堂胜
中国电子科技集团公司第五十五研...
任春江
中国电子科技集团公司第五十五研...
陈辰
中国电子科技集团公司第五十五研...
李肖
中国电子科技集团公司第五十五研...
李亮
中国电子科技集团公司第五十五研...
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任春江
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陈堂胜
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李肖
传媒
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第11届全国...
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2010
3篇
2008
2篇
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形成氮化镓器件和电路中接地通孔的方法
本发明提供了一种形成氮化镓器件和电路中接地通孔的方法,它包括以下步骤:(a)在铝镓氮化物/氮化镓异质结外延材料表面涂覆聚合物;(b)将涂有聚合物一面安装于压盘上;(c)将衬底11的表面12进行研磨并抛光减薄;(d)在衬底...
任春江
陈堂胜
焦刚
陈辰
文献传递
铝镓氮化物/氮化镓高电子迁移率晶体管及制造方法
本发明针对现有的半导体器件存在的耐击穿电压高但跨导小或跨导大而耐击穿电压低的双重矛盾,公开了一种兼具二者优点的铝镓氮化物/氮化镓高电子迁移率晶体管,同时给出其制造方法,包括沟道层(3)、势垒层(4),在势垒层(4)上设有...
陈堂胜
焦刚
任春江
陈辰
文献传递
铝镓氮化物/氮化镓高电子迁移率晶体管及制造方法
本发明针对现有的半导体器件存在的耐击穿电压高但跨导小或跨导大而耐击穿电压低的双重矛盾,公开了一种兼具二者优点的铝镓氮化物/氮化镓高电子迁移率晶体管,同时给出其制造方法,包括沟道层(3)、势垒层(4),在势垒层(4)上设有...
陈堂胜
焦刚
任春江
陈辰
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形成氮化镓器件和电路中接地通孔的方法
本发明提供了一种形成氮化镓器件和电路中接地通孔的方法,它包括以下步骤:(a)在铝镓氮化物/氮化镓异质结外延材料表面涂覆聚合物;(b)将涂有聚合物一面安装于压盘上;(c)将衬底11的表面12进行研磨并抛光减薄;(d)在衬底...
任春江
陈堂胜
焦刚
陈辰
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利用硼离子注入法实现氮化物半导体器件的有源区之间隔离的方法
本发明针对现有的氮化物半导体器件所采用的台面电学隔离方法存在的因台面高度而影响互连线的连接及器件成品率的问题,发明一种利用硼离子注入法实现氮化物半导体器件有源区之间隔离的方法,步骤包括:在AlGaN/GaN异质结上形成源...
陈堂胜
焦刚
李肖
任春江
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MOCVD生长Si基AlGaN/GaN HEMTs研究
利用MOCVD生长了无裂纹Si基GaN及AlGaN/GaN HEMTs外延材料.采用在高温AIN缓冲层上直接生长GaN缓冲层及HEMTs结构,分别研究了工艺条件对GaN晶体质量和HEMT电学性质的影响.制作并分析了200...
董逊
李忠辉
李亮
任春江
焦刚
陈辰
陈堂胜
关键词:
电学性质
信号特性
晶体质量
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