涂步华
- 作品数：17 被引量：13H指数：2
- 供职机构：中国科学院上海技术物理研究所更多>>
- 发文基金：创新研究群体科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学自动化与计算机技术经济管理更多>>
- (111)晶向碲锌镉晶片双面腐蚀的对比分析
- 本文对厚度为20ìm的(111)晶向的碲锌镉晶片进行双面化学腐蚀,并采用红外透射显微镜对A面和B面的腐蚀坑进行观察和对比时发现,在同一晶片(111)A和(111)B面上的腐蚀坑并无对应关系,即大部分腐蚀坑所对应的不是穿越...
- 刘从峰方维政涂步华孙士文杨建荣
- 关键词：腐蚀坑位错密度化合物半导体
- 文献传递
- Cd_(1-y)Zn_yTe的Zn组分面分布及均匀性控制
- 2006年
- 随着HgCdTe红外探测器尺寸规模的扩大,晶格匹配的Cd1-yZnyTe衬底组份均匀性越来越受到重视。由于在CdZnTe晶体中Zn的分凝系数大于1,晶片中Zn组分分布不均匀,从而使HgCdTe外延薄膜不同区域因晶格失配而产生位错的情况不同, 精确测量CdZnTe衬底的Zn组分及其均匀性是十分必要的。高分辨率X射线衍射是精确测量晶格常数和Zn组分的有效方法之一,但不适合常规面分布测定,而采用红外透射光谱法则能够在短时间内及实验容许的误差范围内快速获得CdZnTe中Zn组份的分布。另外,对锭条上不同方位的晶片进行径向和横向面分布红外透射光谱测量,可为组份均匀性控制提供依据。
- 涂步华
- 关键词：X射线衍射红外透射光谱
- 碲锌镉表面腐蚀坑所对应缺陷的特性研究
- 文中通过使用Nakagawa、Everson、EAg1和EAg2四种常用腐蚀剂对碲锌镉材料的腐蚀坑空间分布特性进行研究,结果显示,20μm厚的(111)晶片A、B面上的腐蚀坑在空间位置上不存在对应关系,这表明腐蚀坑所对应...
- 刘从峰方维政涂步华孙士文杨建荣何力
- 关键词：碲锌镉位错密度
- 文献传递
- Cd<,1>-xZnxTe晶格常数的测定
- 本文利用Cd1-xZnxTe晶体乌尔巴赫带尾吸收区内吸收系数α.=10cm<'-1>及α<,2>=20cm<'-1>对应的能量与组分的经验关系,测试了Cd1-xZnxTe晶体的Zn组分.实验结果表明:由红外透射光谱法获得...
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- 关键词：CDZNTE红外透过率X射线衍射晶格常数
- 文献传递
- Ⅱ－Ⅵ族半导体材料保护侧边缘的表面抛光方法
- 本发明公开了一种II-VI族半导体材料保护侧边缘的表面抛光方法，该方法采用先在原片上划出所需的成型晶片面积，但不划穿透原片，仍然是一块晶片进行抛光。即利用周围区域小晶片作为陪片进行机械抛光，这样，周围区域的小晶片就阻挡了...
- 方维政徐琰孙士文周梅华刘从峰涂步华杨建荣何力
- 文献传递
- 碲锌镉表面腐蚀坑所对应缺陷的特性研究
- 2005年
- 文中通过使用Nakagawa、Everson、EAg1和EAg2四种常用腐蚀剂对碲锌镉材料的腐蚀坑空间分布特性进行研究,结果显示,20μm厚的(111)晶片A、B面上的腐蚀坑在空间位置上不存在对应关系,这表明腐蚀坑所对应的缺陷不是具有穿越特性的位错。腐蚀坑的空间局限性特征和热处理后腐蚀坑密度(EPD)减少等实验结果表明,腐蚀坑更有可能对应某种微沉淀物缺陷,将目前常用腐蚀剂的EPD作为碲锌镉材料的位错密度是缺乏实验依据的。
- 刘从峰方维政涂步华孙士文杨建荣何力
- 关键词：碲锌镉位错
- 固液界面附近CdZnTe晶体组份分布及X-Ray测试
- 2005年
- 利用对垂直布里奇曼Bridgman法生长中的Cd1-xZnxTe晶体停电自然降温的方法获得了具有不同凝固速率的同一块单晶样品。通过红外透射光谱测量方法对停电自然降温前后的单晶区域进行比较,结果显示:停电自然降温后,在固液界面附近存在一个明显的组份过度区,正常凝固的晶体组份分布比较均匀,而快速凝固的结晶区域轴向组份分布梯度较大,同时,通过X-Ray测试结果进一步准确判断固液界面的位置。
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- 关键词：X-RAY
- 基于GJB5000A模型的多体系融合实践被引量：1
- 2020年
- 本文针对航天军用嵌入式软件开发的特点和背景,基于GJB5000A模型,系统分析软件研制过程管理体系实施、应用的难点,提出了与GJB9001C和软件工程化融合的本地化总体思路,给出了提升软件研制质量的具体举措和方法。
- 涂步华梁宏张恕明童卫旗
- 关键词：GJB5000A软件过程改进
- PDCA循环在航天红外载荷产品保证管理中的应用
- 2021年
- 近年来,航天产品保证管理要求越来越高,产品保证覆盖产品研制全流程,直接关系到产品研制质量。因此,科学系统地优化产品保证工作流程和工作项目,对提高航天红外载荷产品保证工作质量,实现产品质量目标,有着非常积极的意义。以产品技术流程为基础,通过质量管理PDCA(Plan-Do-Check-Act,策划-实施-检查-处置)循环的思想优化产品保证工作流程和工作项目,针对航天红外载荷产品特点,识别质量控制点,开展针对性、高效的产品保证管理,确保产品按期保质交付。
- 涂步华梁宏祁公祺董德平
- 关键词：PDCA循环产品保证管理质量控制点产品质量
- 碲锌镉晶体常用腐蚀剂的坑形特性研究被引量：5
- 2006年
- 大面积、高质量碲锌镉单晶是制备碲镉汞红外焦平面器件的理想衬底材料,而腐蚀法是常用的揭示碲锌镉晶体缺陷和评价晶体质量的方法之一。对碲锌镉晶体常用的Nakagawa、Everson、EAg1和EAg2四种腐蚀剂在碲锌镉材料(111)晶面上的腐蚀坑坑形进行了研究,结果发现,EAg2腐蚀剂在(111)B面上的腐蚀坑为平底坑,Everson腐蚀剂在(111)B面上产生的腐蚀坑包括平底坑和带有不同倾斜方向坑底的三角锥形坑,进一步的研究还表明,三角锥形坑并未沿着坑底的倾斜方向向下延伸。实验中也首次观察到了EAg腐蚀剂的黑白平底坑。对常用腐蚀剂的坑形特性研究,将有助于更好地利用腐蚀剂开展碲锌镉材料缺陷研究和晶体质量评价工作。
- 刘从峰方维政涂步华孙士文杨建荣何力
- 关键词：腐蚀坑碲锌镉碲镉汞红外焦平面
