侯凤杰 作品数:12 被引量:46 H指数:4 供职机构: 中国科学院高能物理研究所 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 应用光学国家重点实验室开放基金 吉林省科技发展计划基金 更多>> 相关领域: 电子电信 金属学及工艺 机械工程 核科学技术 更多>>
微网气体探测器微结构SPACER的研制 2009年 在多丝正比室(MWPC)受到严重挑战的形势下,微网气体探测器(micromegas)以其响应时间快、计数能力高的优势而从各种新型的气体探测器中脱颖而出。本文介绍了利用两种方法制作微网气体探测器微结构的工艺,一种是利用准LIGA工艺,以SU8胶为绝缘层;另一种是利用干膜做绝缘层来制作微网气体探测器。对比分析了SU8胶和干膜对于制作微网气体探测器的优劣。实验证明,利用干膜制作的微网气体探测器性能更好。使用放射源55Fe对其能量分辨本领进行了实验研究,结果利用干膜制作的微网气体探测器得到了有效增益,测出了逃逸峰。另外,还分析了使用编织丝网和电铸镍网对微网气体探测器的影响,实验证明,电铸镍网更适合于微网气体探测器的性能要求。 侯凤杰 伊福廷 樊瑞睿 张菊芳 廖元勋 陈元柏 欧阳群关键词:多丝正比室 干膜 丝网 利用光刻技术研制雾化器的金属微孔阵列 金属微孔在许多领域内有着巨大的需求,电火花、激光打孔、化学腐蚀及光刻等技术被开发用于各种需求的金属微孔加工。迷你雾化器产品需要有一定锥度的金属微孔片,满足该产品的需要,利用光刻和电镀技术完成了该雾化器特殊金属微孔结构的制... 伊福廷 张菊芳 侯凤杰关键词:微加工 光刻 文献传递 聚酰亚胺悬臂MOEMS电磁光开关的优化设计 被引量:1 2006年 利用聚酰亚胺(PI)优良的机械、绝缘、耐热等性能,设计出基于PI膜的磁控光开关.给出合理的线圈宽度与间隙宽度,提出了八边形的线圈绕组结构,计算得出PI膜悬臂梁光开关驱动电压与工作距离的关系,并对悬臂梁长度、宽度、厚度进行优化.在驱动电压为2V时,自由端位移达到2mm. 孔庆峰 梁静秋 钟砚超 侯凤杰 李佳 孙德贵关键词:光开关 电磁驱动 悬臂梁 聚酰亚胺 采用硅V型槽的一维光纤阵列的研制 被引量:21 2007年 阐述了一维光纤阵列的研制方法,分析了V型槽法中硅V型槽腐蚀机理,计算了V型槽的开口及间距与光纤半径及纤芯截面圆心距的关系,给出了最小槽深与光纤半径及V型槽开口的关系式。用各向异性腐蚀技术制作了硅V型槽,比较了紫外及红外粘接剂的性能,进行了光纤的排列、粘接及抛光,制作出一维光纤阵列。用原子力显微镜测量光纤阵列表面粗糙度为纳米量级,用ZYGO数字干涉仪检测光纤的端头位置误差为3~5μm。该项工作为二维光纤阵列的高精度制备奠定了基础。 梁静秋 侯凤杰关键词:光纤阵列 各向异性腐蚀 利用光刻技术研制雾化器的金属微孔阵列 金属微孔在许多领域内有着巨大的需求,电火花、激光打孔、化学腐蚀及光刻等技术被开发用于各种需求的金属微孔加工。迷你雾化器产品需要有一定锥度的金属微孔片,满足该产品的需要,利用光刻和电镀技术完成了该雾化器特殊金属微孔结构的制... 伊福廷 张菊芳 侯凤杰关键词:微加工 光刻 文献传递 高精度长线列密排光纤阵列的制作研究 被引量:7 2007年 本文讨论了利用硅V型槽法制作高精度线性光纤阵列的可行性,介绍了硅V型槽制作机理,对影响器件精度的主要因素进行了分析,并在器件设计、制作中给予充分考虑。根据器件的可靠性要求,分析了用于光纤粘接的粘接剂应满足的特性,并对紫外固化胶和红外粘接剂进行实验对比,结果表明,Norland紫外固化胶和353ND红外粘接剂为最佳选择。用各向异性湿法腐蚀技术制作了硅V型槽,进行了光纤排列、定位及端面处理,制作出了高精度线性光纤阵列。对端面面型误差和表面粗糙度的测试后,结果表明光纤阵列端面纵向位置误差≤324 nm,表面粗糙度均方根值小于3.85nm。 侯凤杰 梁静秋 郭鹏 孔庆峰 李佳关键词:误差分析 粘接剂 micro-bulk工艺micromegas的研究 2012年 本文介绍了micromegas探测器的主要工艺一micro-bulk工艺.并使用^(55)Fe放射源对制作完成的micro-bulk工艺原理探测器进行了测试,对比了与绝缘丝工艺原理探测器能量分辨率的差别,并进一步研究了micro-bulk工艺探测器电子透过率等性能测试的结果. 樊瑞睿 侯凤杰 欧阳群 范胜男 陈元柏 伊福廷关键词:MICROMEGAS GaAs-LED阵列器件隔离沟槽的制备研究 被引量:3 2006年 良好的电学和光学隔离能显著提高微LED阵列器件的亮度、分辨率等工作性能,高深宽比隔离沟槽的制备是决定电学隔离效果的关键。本文分析比较了各种制备工艺,选择湿法腐蚀工艺,使用了不同比例柠檬酸双氧水腐蚀液对G aA s进行了腐蚀,在二者配比为3∶1的条件下,在G aA s衬底材料上制备了深宽比为2∶1的隔离沟槽。腐蚀后芯片表面平整度、侧蚀等指标初步达到器件设计的要求。 李佳 梁静秋 金霞 孔庆峰 侯凤杰 王维彪关键词:GAAS 湿法腐蚀 光纤传像束研究进展 被引量:15 2009年 光纤传像束是一种可任意弯曲的传输图像的无源器件,与传统的光学成像器件相比,它具有重量轻、使用自由度大、易实现复杂空间结构的图像传递等优点。由于其优良的传像特性和可任意弯曲的特殊性能,使其被广泛地应用于医学、工业及科研、航天、军事等多种领域。本文给出了光纤传像束与其它成像系统相比所具有的优点,详细分析了影响光纤传像束传像性能的一些因素,介绍了传像束的制作方法,阐述了不同类型传像束的特点及应用,并指出了目前面临的问题。 李响 梁中翥 郭鹏 侯凤杰 姚劲松 梁静秋关键词:传像束 透光率 酸溶法 线列光纤传像束的设计与制作技术研究 侯凤杰