孔庆峰 作品数:8 被引量:13 H指数:2 供职机构: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 应用光学国家重点实验室开放基金 吉林省科技发展计划基金 更多>> 相关领域: 电子电信 电气工程 更多>>
聚酰亚胺悬臂MOEMS电磁光开关的优化设计 被引量:1 2006年 利用聚酰亚胺(PI)优良的机械、绝缘、耐热等性能,设计出基于PI膜的磁控光开关.给出合理的线圈宽度与间隙宽度,提出了八边形的线圈绕组结构,计算得出PI膜悬臂梁光开关驱动电压与工作距离的关系,并对悬臂梁长度、宽度、厚度进行优化.在驱动电压为2V时,自由端位移达到2mm. 孔庆峰 梁静秋 钟砚超 侯凤杰 李佳 孙德贵关键词:光开关 电磁驱动 悬臂梁 聚酰亚胺 高精度长线列密排光纤阵列的制作研究 被引量:7 2007年 本文讨论了利用硅V型槽法制作高精度线性光纤阵列的可行性,介绍了硅V型槽制作机理,对影响器件精度的主要因素进行了分析,并在器件设计、制作中给予充分考虑。根据器件的可靠性要求,分析了用于光纤粘接的粘接剂应满足的特性,并对紫外固化胶和红外粘接剂进行实验对比,结果表明,Norland紫外固化胶和353ND红外粘接剂为最佳选择。用各向异性湿法腐蚀技术制作了硅V型槽,进行了光纤排列、定位及端面处理,制作出了高精度线性光纤阵列。对端面面型误差和表面粗糙度的测试后,结果表明光纤阵列端面纵向位置误差≤324 nm,表面粗糙度均方根值小于3.85nm。 侯凤杰 梁静秋 郭鹏 孔庆峰 李佳关键词:误差分析 粘接剂 抛物面型高能X射线组合透镜 抛物面型高能X射线组合透镜,其特征在于包括:支撑体(1)、透镜主体(2)、空气腔(3),在支撑体(1)的一个表面置有透镜主体(2),透镜主体(2)由若干个双抛物面型透镜单元(4)顺序排列组成,透镜主体(2)的焦距尺寸大于... 梁静秋 乐孜纯 孔庆峰文献传递 光通信中的新型光无源器件 被引量:1 2009年 基于全光网络的迅猛发展,本文简单介绍了波分复用器、光开关、光插/分复用器件方面的新型光无源器件,对器件原理、功能进行了阐述。文章对这些实现技术的特点进行了详细的分析和比较,最后给出了结论和展望。 梁中翥 钟砚超 孔庆峰 梁静秋关键词:全光网络 波分复用器 光开关 MOEMS GaAs-LED阵列器件隔离沟槽的制备研究 被引量:3 2006年 良好的电学和光学隔离能显著提高微LED阵列器件的亮度、分辨率等工作性能,高深宽比隔离沟槽的制备是决定电学隔离效果的关键。本文分析比较了各种制备工艺,选择湿法腐蚀工艺,使用了不同比例柠檬酸双氧水腐蚀液对G aA s进行了腐蚀,在二者配比为3∶1的条件下,在G aA s衬底材料上制备了深宽比为2∶1的隔离沟槽。腐蚀后芯片表面平整度、侧蚀等指标初步达到器件设计的要求。 李佳 梁静秋 金霞 孔庆峰 侯凤杰 王维彪关键词:GAAS 湿法腐蚀 聚酰亚胺悬臂MOEMS电磁光开关研究 孔庆峰关键词:光开关 电磁驱动 聚酰亚胺 聚酰亚胺悬臂MOEMS电磁光开关的优化设计 本文利用聚酰亚胺(PI)优良的机械、绝缘、耐热等性能,设计出基于PI膜的磁控光开关.给出合理的线圈宽度与间隙宽度,提出了八边形的线圈绕组结构,计算得出PI膜悬臂梁光开关驱动电压与工作距离的关系,并对悬臂梁长度、宽度、厚度... 孔庆峰 梁静秋 钟砚超 侯凤杰 李佳 孙德贵关键词:光开关 电磁驱动 悬臂梁 聚酰亚胺 文献传递 一种X射线组合透镜及其制作工艺 本发明属于X射线微结构光学器件,尤其是X射线组合透镜及其制作工艺。本发明包括:支撑体,透镜主体和空气腔。首先在单晶硅片表面依次制作聚酰亚胺和金属薄膜,光刻、电铸,去胶,开窗口,完成X射线光刻掩膜制作;然后,在钛片表面制备... 梁静秋 乐孜纯 孔庆峰文献传递