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陶伯睿
作品数:
2
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供职机构:
华东师范大学
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合作作者
蒋珂玮
华东师范大学
万丽娟
华东师范大学
李辉麟
华东师范大学
龚文莉
华东师范大学
张健
华东师范大学
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机构
2篇
华东师范大学
作者
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张健
2篇
龚文莉
2篇
李辉麟
2篇
陶伯睿
2篇
万丽娟
2篇
蒋珂玮
年份
1篇
2010
1篇
2008
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一种选择性刻蚀硅纳米线的方法
本发明针对现有技术所存在的缺陷和市场需求,公开了一种选择性刻蚀硅纳米线的方法,其包括以下顺序步骤:a)采用“自上而下”的标准微电子加工工艺在硅片表面开窗口;b)采用“自下而上”的非电镀化学沉积的方法在开窗口的硅片表面刻蚀...
万丽娟
龚文莉
陶伯睿
蒋珂玮
李辉麟
张健
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一种选择性刻蚀硅纳米线的方法
本发明针对现有技术所存在的缺陷和市场需求,公开了一种选择性刻蚀硅纳米线的方法,其包括以下顺序步骤:a)采用“自上而下”的微电子加工工艺在硅片表面开窗口;b)采用“自下而上”的非电镀化学沉积的方法在开窗口的硅片表面刻蚀硅纳...
万丽娟
龚文莉
陶伯睿
蒋珂玮
李辉麟
张健
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