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龚文莉

作品数：4 被引量：2H指数：1
供职机构：华东师范大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 4篇纳米
  • 4篇纳米线
  • 4篇硅纳米线
  • 2篇电器件
  • 2篇选择性刻蚀
  • 2篇图形化
  • 2篇线阵列
  • 2篇纳米线阵列
  • 2篇刻蚀
  • 2篇机电器件
  • 2篇硅片
  • 2篇硅片表面
  • 1篇电化学
  • 1篇电化学传感
  • 1篇电化学传感器
  • 1篇置换法
  • 1篇化学传感器
  • 1篇感器
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 4篇华东师范大学

作者

  • 4篇龚文莉
  • 3篇张健
  • 3篇万丽娟
  • 2篇李辉麟
  • 2篇陶伯睿
  • 2篇蒋珂玮

传媒

  • 1篇功能材料与器...

年份

  • 1篇2010
  • 2篇2009
  • 1篇2008
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
一种选择性刻蚀硅纳米线的方法
本发明针对现有技术所存在的缺陷和市场需求，公开了一种选择性刻蚀硅纳米线的方法，其包括以下顺序步骤：a)采用“自上而下”的标准微电子加工工艺在硅片表面开窗口；b)采用“自下而上”的非电镀化学沉积的方法在开窗口的硅片表面刻蚀...
万丽娟龚文莉陶伯睿蒋珂玮李辉麟张健
文献传递
一种选择性刻蚀硅纳米线的方法
本发明针对现有技术所存在的缺陷和市场需求，公开了一种选择性刻蚀硅纳米线的方法，其包括以下顺序步骤：a)采用“自上而下”的微电子加工工艺在硅片表面开窗口；b)采用“自下而上”的非电镀化学沉积的方法在开窗口的硅片表面刻蚀硅纳...
万丽娟龚文莉陶伯睿蒋珂玮李辉麟张健
文献传递
硅纳米线的制备及其在传感器应用方面的研究
近年来,纳米结构材料特别是半导体纳米结构材料的制备及其在传感方面的应用已经成为众多物理、化学、材料、电子等学科领域研究学者关注的焦点。纳米结构材料极其传感器件将会引发新的技术革命,成长为二十一世纪信息技术的主要增长点。由...
龚文莉
关键词：硅纳米线电化学传感器
文献传递
图形化硅纳米线阵列的制备被引量：1
2009年
本文主要研究了在常态(常温、常压等)条件下,利用金属催化化学腐蚀方法在硅片表面上大面积制备排列整齐、取向一致的硅纳米线阵列。同时,出于对后续制作硅纳米线传感器考虑,利用微电子标准加工工艺,以氮化硅做掩膜,通过选择合适的实验参数,在硅片表面选择性生长纳米线阵列,得到图形化的硅纳米线阵列。
龚文莉万丽娟张健
关键词：硅纳米线图形化
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