蒋珂玮
- 作品数：15 被引量：8H指数：2
- 供职机构：华东师范大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金上海市浦江人才计划项目国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术一般工业技术电子电信机械工程更多>>
- 纳米结构在微纳传感器应用中的介电泳操控研究
- 2007年
- 要将纳米结构作为功能元件应用在微纳传感器等电学系统中，首先要解决的问题是材料的定位操作问题。介电泳技术是一种很有潜力的纳米操控技术。在自行设计的几种电极的基础上，采用介电泳技术对微纳米材料进行操控，可以实现微纳米材料沿电场方向的排布并口电极间的跨接。初步测试了采用介电泳技术操控自行生长的纳米结构制作而成的湿度传感器的基本特性，结果表明介电泳技术可以很好地实现纳米材料在传感器领域中的应用。
- 刘伟景张健万丽娟蒋珂玮
- 关键词：相对湿度纳米氧化锌
- 一种新型微纳无线湿度传感器的研制
- 2008年
- 研究了一种新型微纳无线湿度传感器的研制方法,该传感器是通过介电泳技术把ZnO纳米棒定位在自行设计的微电极中间。ZnO纳米材料具有巨大的比表面积和界面,利用ZnO纳米结构对湿度具有很好的吸附和解吸附性能可以制作一种湿度传感器。通过基本传感特性的测试,证实了该传感器具有良好的重复特性和较高的灵敏度。另外,通过GSM Modem,将该传感器与温度传感器相结合,制成一种家用无线温湿探测系统,能使用户很方便地了解室内的温湿信息。
- 蒋珂玮张健刘伟景万丽娟陶佰睿
- 关键词：GSMZNO湿度传感器
- 一种选择性刻蚀硅纳米线的方法
- 本发明针对现有技术所存在的缺陷和市场需求，公开了一种选择性刻蚀硅纳米线的方法，其包括以下顺序步骤：a)采用“自上而下”的微电子加工工艺在硅片表面开窗口；b)采用“自下而上”的非电镀化学沉积的方法在开窗口的硅片表面刻蚀硅纳...
- 万丽娟龚文莉陶伯睿蒋珂玮李辉麟张健
- 文献传递
- 一种选择性刻蚀硅纳米线的方法
- 本发明针对现有技术所存在的缺陷和市场需求，公开了一种选择性刻蚀硅纳米线的方法，其包括以下顺序步骤：a)采用“自上而下”的标准微电子加工工艺在硅片表面开窗口；b)采用“自下而上”的非电镀化学沉积的方法在开窗口的硅片表面刻蚀...
- 万丽娟龚文莉陶伯睿蒋珂玮李辉麟张健
- 文献传递
- 服务于IC产业的MEMS探卡被引量：1
- 2009年
- 圆片级芯片测试在IC制造工艺中已经成为不可或缺的一部分,发挥着重要的作用,而测试探卡在圆片级芯片测试过程中起着关键的信号通路的作用。分析指出由于芯片管脚密度的不断增加以及在高频电路中应用的需要,传统的组装式探卡将不能适应未来的测试要求;和传统探卡的组装方法相比,MEMS技术显然更适应当今的IC技术。综述了针对MEMS探卡不同的应用前景所提出的多种技术方案,特别介绍了传感技术国家重点实验室为满足IC圆片级测试的要求,针对管脚线排布型待测器件的新型过孔互连式悬臂梁芯片和针对管脚面排布型待测器件的Ni探针阵列结构的设计和制造。
- 程融蒋珂玮汪飞李昕欣
- 关键词：微机械电子系统
- 纳米结构在微纳传感器应用中的介电泳操控研究
- 要将纳米结构作为功能元件应用在微纳传感器等电学系统中,首先要解决的问题是材料的定位操作问题．介电泳技术是一种很有潜力的纳米操控技术。在自行设计的几种电极的基础上,采用介电泳技术对微纳米材料进行操控,可以实现微纳米材料沿电...
- 刘伟景张健万丽娟蒋珂玮
- 关键词：相对湿度纳米氧化锌
- 文献传递
- 介电泳操控纳米材料及其在微纳传感器中的应用被引量：4
- 2008年
- 要将纳米结构作为功能元件应用在微纳传感器、纳米电路等系统中,首先要解决材料的定位操作问题。在自行设计的几种电极的基础上,采用介电泳技术对SiO2微纳米材料进行操控,可以实现材料的沿电场方向的排布和电极间的跨接,为解决纳米结构的定位操作做了有益的尝试。初步测试了采用介电泳技术操控自行生长的ZnO纳米结构制作而成的湿度传感器的基本特性并取得很好的响应,表明介电泳技术可以很好得实现纳米材料在传感器领域中的应用。
- 刘伟景张健万丽娟蒋珂玮吕家云
- 关键词：相对湿度纳米氧化锌
- 一种多功能介电泳操控微电极片上系统及其制作方法
- 本发明公开了一种多功能介电泳操控微电极片上系统及其制作方法，其特征是：综合考虑微电极形貌与间距、材料与电极尺寸比例对操控电场分布的影响和生产研究的各种介电泳操控需求，通过微加工技术在一个片上系统里面制作出一系列的不同形貌...
- 唐晓东刘伟景蒋珂玮王玉才许修兵
- 文献传递
- 红外和压力双重传感的报警装置
- 一种红外和压力双重传感的报警装置，属红外和压力传感报警及其装置的技术领域。在已有的含红外模块和蜂鸣器报警模块的防盗报警电路上，引入按键压力模块：红外模块和蜂鸣器报警模块分别通过各自的输出端和触发端与单片机的P口的两口线连...
- 张健蒋珂玮李俊君
- 文献传递
- 服务于微电子产业的MEMS新技术被引量：1
- 2009年
- UV-LIGA技术是MEMS微细加工中一种非常重要的技术。结合厚胶工艺,可以利用金属电镀的方法制作出各种金属MEMS结构。UV-LIGA技术一方面由于其低温的特点可以很好的与后COMS工艺兼容,被用在片上集成高性能射频无源器件方面。另一方面,还可以将金属电镀工艺与硅微机械技术相结合,制作出用于圆片级测试的微机械探卡。文中主要介绍这种有产业前景的技术及其在器件制作上取得的成果。
- 程融蒋珂玮李昕欣
- 关键词：电镀
