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胡振东

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
相关领域：电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇多输出
  • 1篇多输入多输出
  • 1篇多输入多输出...
  • 1篇透镜
  • 1篇温度测量
  • 1篇温度测量与控...
  • 1篇温度控制
  • 1篇温度控制器
  • 1篇系统模型
  • 1篇系统设计
  • 1篇离子注入
  • 1篇控制器
  • 1篇红外
  • 1篇红外测温
  • 1篇磁透镜

机构

  • 2篇中国电子科技...

作者

  • 2篇胡振东
  • 1篇孙雪平
  • 1篇钟新华
  • 1篇彭立波
  • 1篇袁卫华
  • 1篇龙会跃

传媒

  • 1篇工业加热
  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2017
  • 1篇2016
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
适应于快速热处理设备的温度测量与控制系统设计
2017年
提出了一种适应于快速热处量设备(RTP)的温度测量与控制方法。介绍了快速热处理设备工作原理和主要关键技术;针对温度测量与温度控制两大关键技术,提出了先进的解决方案,即一种增强反射及发射率在线测量与补偿的温度测量方法和基于系统模型多输入多输出(MIMO)温度控制方法;通过实验验证了该温度测量方法和温度控制方法的可行性与先进性,并将该温度测量与温度控制系统应用于我们自主研发的快速热处理设备上,证明该温度测量与控制系统完全能满足设备的各项工艺指标。
钟新华胡振东龙会跃袁卫华
关键词：红外测温系统模型
平行束磁透镜的研究
2016年
离子注入机单纯的静电扫描造成注入角度的不一,已经不能满足器件性能的一致性要求,所以产生平行的离子束就很重要,为此介绍一种均匀磁场下的平行束磁透镜,可以产生近似平行的离子束;获得离子束的平行度小于0.43°,满足大规模集成电路制造生产线的使用要求。
胡振东孙雪平彭立波
关键词：磁透镜离子注入
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