孙雪平
- 作品数：5 被引量：5H指数：1
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
- 发文基金：湖南省自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 用于强流离子注入机的磁分析器电源设计被引量：1
- 1997年
- 本文简要介绍了该电源的指标及电路．并详细论述了提高电源稳定度和可靠性的方法和措施，最后给出了测试结果和运行情况。
- 孙雪平
- 关键词：强流离子注入机磁分析器电源微电子技术
- SiC高温高能离子注入机的离子源热场研究被引量：1
- 2017年
- 高温高能离子注入机是宽禁带半导体SiC产业的关键设备,离子源直接影响整机的性能指标。为保证离子源的长寿命和大束流,针对SiC高温高能离子注入机中的离子源热场问题,采用仿真软件对灯丝、阴极帽和AlX罩的热场、热变形进行了研究,提出了离子源运用过程中的注意事项及改进设计。
- 彭立波张赛易文杰罗才旺孙雪平
- 关键词：离子注入机离子源
- 平行束磁透镜的研究
- 2016年
- 离子注入机单纯的静电扫描造成注入角度的不一,已经不能满足器件性能的一致性要求,所以产生平行的离子束就很重要,为此介绍一种均匀磁场下的平行束磁透镜,可以产生近似平行的离子束;获得离子束的平行度小于0.43°,满足大规模集成电路制造生产线的使用要求。
- 胡振东孙雪平彭立波
- 关键词：磁透镜离子注入
- 中能离子注入机用静电吸盘被引量：2
- 2007年
- 简要介绍了静电吸盘的工作原理,理论分析了六相静电吸盘的工作模式,对静电吸盘进行了结构设计和制作工艺研究,并对静电吸盘的工艺性能尤其是静电吸盘在不同压力的氮气冷却性能进行了研究。实验结果表明,静电吸持电压的频率为30 Hz时最佳,这时电压一般为0.5 kV^1 kV,所需电源的功率较小。
- 肖仁耀孙雪平
- 关键词：离子注入
- 离子注入机质量分析器线包温度场研究被引量：1
- 2014年
- 利用有限元分析软件对离子注入机线包的温度场进行了数值计算,发现4个60匝50 mm高的线圈即可产生所需磁场。同时对处于水冷板与铜线圈之间的绝缘树脂的厚度和导热系数对线圈温度场的影响进行了研究,发现绝缘树脂厚度的增加会使线圈温度急剧升高,而选择高导热系数的绝缘树脂可以显著降低线圈温度。因此需要在制作线包时要严格保证树脂厚度,同时尽量选取导热性能好的绝缘树脂。
- 彭立波张赛罗才旺易文杰孙雪平
- 关键词：分析器温度场
