易文杰
- 作品数：3 被引量：5H指数：1
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
- 发文基金：湖南省自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- SiC高温高能离子注入机的离子源热场研究被引量：1
- 2017年
- 高温高能离子注入机是宽禁带半导体SiC产业的关键设备,离子源直接影响整机的性能指标。为保证离子源的长寿命和大束流,针对SiC高温高能离子注入机中的离子源热场问题,采用仿真软件对灯丝、阴极帽和AlX罩的热场、热变形进行了研究,提出了离子源运用过程中的注意事项及改进设计。
- 彭立波张赛易文杰罗才旺孙雪平
- 关键词：离子注入机离子源
- 离子注入机质量分析器线包温度场研究被引量：1
- 2014年
- 利用有限元分析软件对离子注入机线包的温度场进行了数值计算,发现4个60匝50 mm高的线圈即可产生所需磁场。同时对处于水冷板与铜线圈之间的绝缘树脂的厚度和导热系数对线圈温度场的影响进行了研究,发现绝缘树脂厚度的增加会使线圈温度急剧升高,而选择高导热系数的绝缘树脂可以显著降低线圈温度。因此需要在制作线包时要严格保证树脂厚度,同时尽量选取导热性能好的绝缘树脂。
- 彭立波张赛罗才旺易文杰孙雪平
- 关键词：分析器温度场
- 离子注入机剂量控制器设计被引量：3
- 2016年
- 剂量控制器是离子注入机的核心部件,主要功能有精确测量离子注入机束流与注入剂量,控制离子束在电场中水平运动,并使离子均匀地分布在水平方向和同步垂直扫描运动完成离子注入的剂量控制。基于这些功能要求,本文提出了一种高精密、多功能和程控式的离子注入机剂量控制器。首先介绍了离子注入机剂量控制器工作原理和功能,然后,详细地阐述剂量控制器的系统构成和各功能模块设计及功能实现。此控制器按功能主要分为多通道、多级量程的高精度束流与剂量测量模块、扫描波形控制模块、垂直扫描同步信号检测与控制模块等。最后,通过实验验证了此离子注入机剂量控制器的性能达到设计要求。
- 钟新华彭立波易文杰
- 关键词：离子注入
