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罗才旺

作品数：2 被引量：2H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
发文基金：湖南省自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇注入机
  • 2篇离子注入
  • 2篇离子注入机
  • 1篇质量分析器
  • 1篇碳化硅
  • 1篇温度场
  • 1篇离子
  • 1篇离子源
  • 1篇分析器
  • 1篇高温
  • 1篇SIC

机构

  • 2篇中国电子科技...

作者

  • 2篇张赛
  • 2篇易文杰
  • 2篇罗才旺
  • 2篇孙雪平
  • 2篇彭立波

传媒

  • 2篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2017
  • 1篇2014
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
SiC高温高能离子注入机的离子源热场研究被引量：1
2017年
高温高能离子注入机是宽禁带半导体SiC产业的关键设备,离子源直接影响整机的性能指标。为保证离子源的长寿命和大束流,针对SiC高温高能离子注入机中的离子源热场问题,采用仿真软件对灯丝、阴极帽和AlX罩的热场、热变形进行了研究,提出了离子源运用过程中的注意事项及改进设计。
彭立波张赛易文杰罗才旺孙雪平
关键词：离子注入机离子源
离子注入机质量分析器线包温度场研究被引量：1
2014年
利用有限元分析软件对离子注入机线包的温度场进行了数值计算,发现4个60匝50 mm高的线圈即可产生所需磁场。同时对处于水冷板与铜线圈之间的绝缘树脂的厚度和导热系数对线圈温度场的影响进行了研究,发现绝缘树脂厚度的增加会使线圈温度急剧升高,而选择高导热系数的绝缘树脂可以显著降低线圈温度。因此需要在制作线包时要严格保证树脂厚度,同时尽量选取导热性能好的绝缘树脂。
彭立波张赛罗才旺易文杰孙雪平
关键词：分析器温度场
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