袁卫华
- 作品数：3 被引量：4H指数：1
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 适应于快速热处理设备的温度测量与控制系统设计
- 2017年
- 提出了一种适应于快速热处量设备(RTP)的温度测量与控制方法。介绍了快速热处理设备工作原理和主要关键技术;针对温度测量与温度控制两大关键技术,提出了先进的解决方案,即一种增强反射及发射率在线测量与补偿的温度测量方法和基于系统模型多输入多输出(MIMO)温度控制方法;通过实验验证了该温度测量方法和温度控制方法的可行性与先进性,并将该温度测量与温度控制系统应用于我们自主研发的快速热处理设备上,证明该温度测量与控制系统完全能满足设备的各项工艺指标。
- 钟新华胡振东龙会跃袁卫华
- 关键词：红外测温系统模型
- 单晶圆注入机注入角度测量与补偿系统设计
- 2017年
- 在超大规模集成电路生产线宽45 nm及以下的注入工艺环节中,离子束注入晶圆角度精度控制变得愈显重要,注入角度的细小差别引起掺杂元素在晶体管中的分布深度和范围的变化,进而导致器件参数和性能的巨大变化。研究表明注入角度控制取决于对注入离子束与晶圆面法线间水平和竖直方向角度测算的精确度;系统能精确测量出离子束注入角度,然后通过补偿驱动旋转靶台到相应需求的角度后注入,满足工艺需求。
- 袁卫华钟新华彭立波
- 关键词：单晶圆注入机
- 基于NI CompactRIO的离子注入机剂量控制系统设计被引量：4
- 2016年
- 剂量控制器是离子注入机的核心部件,主要功能是精确控制注入剂量和注入离子的均匀分布。提出了一种基于NI Compact RIO嵌入式实时控制器的离子注入机剂量控制系统。首先介绍了离子注入机剂量控制系统工作原理,怎样实现将离子束按设定的剂量精确地、均匀地注入到晶片表面。然后对基于NI Compact RIO嵌入式控制器的离子注入机剂量控制系统的硬件构成和软件结构作了详细的介绍。最后,通过实验验证了此离子注入机剂量控制系统的性能达到设计要求。
- 钟新华袁卫华
