龙会跃
- 作品数：5 被引量：2H指数：1
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
- 相关领域：金属学及工艺电子电信冶金工程核科学技术更多>>
- 快速退火炉热源及其温度均匀性设计被引量：1
- 2009年
- 根据快速退火炉加热系统的组成,利用热量传递的基本理论定性地分析了满足热处理工艺指标时加热系统所需的热功率以及影响快速退火系统温度均匀性的因素。在此基础上提出了热源分区的设计思想。
- 龙会跃李岳邱小莎钟新华
- 关键词：晶片功率密度
- 快速退火炉系统设计与实现
- 快速退火炉是现代大规模集成电路生产工艺过程中的关键装备。主要用于离子注入后杂质的激活、浅结制作、生长高质量的氧化膜层和金属硅化物合金形成等工艺。随着集成电路工艺技术的飞速发展,开展快速退火炉系统的技术研究,对国内开发和研...
- 龙会跃
- 关键词：快速退火退火工艺红外辐射温度测量温度控制器自动控制
- 文献传递
- 长寿命间热式阴极离子源
- 本文介绍一种最新开发应用于100nm大角度离子注入机的长寿命离子源,该离子源最主要特征是采用间热式阴极代替传统的热灯丝阴极发射电子.同时根据工业化离子注入机实用性要求系统介绍离子源使用寿命、引出束流、多电荷离子产额、束稳...
- 戴习毛刘恺伍三忠龙会跃
- 关键词：使用寿命离子注入机
- 文献传递
- 基于DeviceNet现场总线的快速热处理设备控制系统设计
- 2010年
- 介绍了一种基于DeviceNet现场总线的快速热处理设备控制系统。首先介绍了该系统的硬件构成,本控制系统采用了基于现场总线和模块化设计思想,使得该系统的能够满足快速热处理设备的加热腔的数量可任意配置,具有很好的可扩展性;然后提出了一个分层的、模块化的、可配置的软件控制系统,并对其进行了简要概述;最后设计了一个基于系统模型的温度控制器,该控制器采用了前馈控制与反馈控制相结合的方法,其中,前馈通道用来预测控制输出,从而提高了系统响应速度;反馈通道用来修正模型误差和外界干扰,从而提高了控制系统的鲁棒性和控制精度。
- 钟新华龙会跃
- 关键词：DEVICENET总线体系结构温度控制器系统模型
- 适应于快速热处理设备的温度测量与控制系统设计
- 2017年
- 提出了一种适应于快速热处量设备(RTP)的温度测量与控制方法。介绍了快速热处理设备工作原理和主要关键技术;针对温度测量与温度控制两大关键技术,提出了先进的解决方案,即一种增强反射及发射率在线测量与补偿的温度测量方法和基于系统模型多输入多输出(MIMO)温度控制方法;通过实验验证了该温度测量方法和温度控制方法的可行性与先进性,并将该温度测量与温度控制系统应用于我们自主研发的快速热处理设备上,证明该温度测量与控制系统完全能满足设备的各项工艺指标。
- 钟新华胡振东龙会跃袁卫华
- 关键词：红外测温系统模型
