孙永明
- 作品数：10 被引量：6H指数：2
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”中国人民解放军总装备部预研基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程文化科学电子电信更多>>
- 基于聚酰亚胺基底的热剪切应力传感器设计被引量：4
- 2013年
- 设计了一种基于柔性MEMS技术的双热线结构剪切应力传感器,可以实现曲体表面上二维剪切应力的矢量测量,对于实现流场的主动控制具有重要的意义。介绍了双热线热剪切应力传感器及其阵列的原理和结构设计;通过有限元仿真分析对器件的尺寸参数进行了优化设计;利用MEMS工艺制作方法,实现了信号背线引接技术,减少了对流场的干扰。实验结果表明:工艺流程设计和器件参数设计合理,传感器阵列具有良好测试性能。
- 孙永明刘武张卫平陈宏海
- 关键词：聚酰亚胺MEMS
- 二维矢量柔性热敏微剪切应力传感器及其阵列和制备方法
- 本发明公开一种二维矢量柔性热敏微剪切应力传感器及其阵列和制备方法，采用多层微细加工工艺制作热线、引线和引脚的三层结构，聚酰亚胺薄膜作为多层结构之间的平坦化绝缘材料并作为支撑结构。热线布置形式采用两组正交双热线结构，热线经...
- 刘武陈文元张卫平王文君孙永明陈宏海崔峰吴校生
- 文献传递
- 基于聚酰亚胺基底的热线式剪切应力传感器被引量：2
- 2013年
- 利用非硅微机械加工技术,制作了一种柔性热线式剪切应力微传感器。该传感器以聚酰亚胺膜为基底,可与被测曲面物体紧密贴合,具有较好的测量适应性和准确性。传感器采用线性度好、温度系数较高的铂金属制作敏感热线。为减少对被测流场的干扰且便于传感器的信号传输,传感器使用了背面引线结构。设计了恒温工作模式的传感器检测电路,并对电路的工作原理和参数设置进行了详细分析。对传感器进行了风洞实验,绘制得到剪切应力与输出电压的关系曲线。实验结果表明,设计制作的传感器及其电路可行。
- 陈宏海刘武孙永明张卫平陈文元崔峰吴校生
- 关键词：聚酰亚胺铂
- 微固体模态陀螺闭环锁相稳幅驱动电路
- 本发明公开一种微固体模态陀螺闭环锁相稳幅驱动电路，所述电路在振动初始，以自身固定的频率输出给陀螺，作为初始驱动信号，陀螺受驱动后将会输出和驱动信号有一定相位差的参考信号，此信号经电荷放大器，锁相环电路，等幅调相电路，自动...
- 吴校生何永松郑福陈文元张卫平邓腾孙永明陈宏海
- 静电驱动电容检测三轴微陀螺仪
- <B>本发明涉及一种微机电技术领域的静电驱动电容检测三轴微陀螺仪，它包括一个具有三个振动梁的等边三角形振子，三个与振动梁长度方向平行且具有间隙的驱动电极，六个与振动梁长度方向平行且具有间隙的侧面检测电极，三个与基底表面平...
- 张卫平关冉陈文元孙永明吴校生崔峰刘武
- 二维矢量柔性热敏微剪切应力传感器及其阵列和制备方法
- 本发明公开一种二维矢量柔性热敏微剪切应力传感器及其阵列和制备方法，采用多层微细加工工艺制作热线、引线和引脚的三层结构，聚酰亚胺薄膜作为多层结构之间的平坦化绝缘材料并作为支撑结构。热线布置形式采用两组正交双热线结构，热线经...
- 刘武陈文元张卫平王文君孙永明陈宏海崔峰吴校生
- 基于柔性MEMS技术的三维流体应力传感器及其阵列
- 本发明公开一种基于柔性MEMS技术的三维流体应力传感器及其阵列，包括电容式压应力传感器和热剪切应力传感器，电容式压应力传感器包括位于上电极层的上极板、压应力敏感膜和下电极层的下极板，支撑结构层形成压应力传感器的空腔结构；...
- 张卫平孙永明刘武陈文元陈宏海王文君吴校生崔峰
- 文献传递
- 基于柔性MEMS技术的三维流体应力传感器及其阵列
- 本发明公开一种基于柔性MEMS技术的三维流体应力传感器及其阵列，包括电容式压应力传感器和热剪切应力传感器，电容式压应力传感器包括位于上电极层的上极板、压应力敏感膜和下电极层的下极板，支撑结构层形成压应力传感器的空腔结构；...
- 张卫平孙永明刘武陈文元陈宏海王文君吴校生崔峰
- 文献传递
- 静电驱动电容检测三轴微陀螺仪
- <B>本发明涉及一种微机电技术领域的静电驱动电容检测三轴微陀螺仪，它包括一个具有三个振动梁的等边三角形振子，三个与振动梁长度方向平行且具有间隙的驱动电极，六个与振动梁长度方向平行且具有间隙的侧面检测电极，三个与基底表面平...
- 张卫平关冉陈文元孙永明吴校生崔峰刘武
- 文献传递
- 微固体模态陀螺闭环锁相稳幅驱动电路
- 本发明公开一种微固体模态陀螺闭环锁相稳幅驱动电路，所述电路在振动初始，以自身固定的频率输出给陀螺，作为初始驱动信号，陀螺受驱动后将会输出和驱动信号有一定相位差的参考信号，此信号经电荷放大器，锁相环电路，等幅调相电路，自动...
- 吴校生何永松郑福陈文元张卫平邓腾孙永明陈宏海
- 文献传递
