甄志成
- 作品数：6 被引量：1H指数：1
- 供职机构：天津大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金天津市自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 微测辐射热计制造工艺与品质测试研究
- 非制冷微测辐射热计阵列系统基于MEMS技术而得到了迅猛的发展，较之于原始的制冷型红外测辐射热计，非制冷型探测器在携带性、制造和维护成本等方面存在巨大优势。本实验室多年来从事于氧化钒薄膜及多孔硅材料的理论、制备及性能方面研...
- 甄志成
- 关键词：测辐射热计氧化钒多孔硅
- 文献传递
- 微测辐射热计制造工艺和品质测试研究
- 甄志成
- 关键词：测辐射热计氧化钒多孔硅有限元
- 非制冷红外微测辐射热计有限元模型的构建
- 根据微加工条件能够制造的单层和双层结构的非制冷红外微测辐射热计的尺寸,进行了有限元建模与分析,寻找出在可接受的性能与成本之间折衷的设计方案,指出气体热导是影响探测单元热导的一个主要因素,并对其进行了理论分析,给出减小气体...
- 甄志成胡明杨海波吕宇强
- 关键词：微机电系统微桥结构微测辐射热计红外成像
- 文献传递
- 非制冷红外探测器多孔硅绝热层的研究
- 以多孔硅作为绝热层材料,采用超高真空对靶磁控溅射镀膜法,在多孔硅样品表面和硅基底表面沉积氧化钒薄膜。实验采用电化学腐蚀法制备多孔硅,利用场致发射扫描电子显微镜观测了孔隙率为50％,60％,70％三个多孔硅样品的微观形貌。...
- 杨海波胡明吕宇强甄志成张绪瑞张伟
- 关键词：非制冷红外探测器氧化钒多孔硅绝热层力学性能
- 文献传递
- 非制冷红外微测辐射热计有限元模型的构建被引量：1
- 2007年
- 根据微加工条件能够制造的单层和双层结构的非制冷红外微测辐射热计的尺寸,进行了有限元建模与分析,寻找出在可接受的性能与成本之间折衷的设计方案,指出气体热导是影响探测单元热导的一个主要因素,并对其进行了理论分析,给出减小气体热导的方法及这些方法在双层及单层结构中应用的可行性。
- 甄志成胡明杨海波吕宇强
- 关键词：微机电系统微桥结构微测辐射热计红外成像
- 非制冷红外探测器多孔硅绝热层的研究
- 2007年
- 以多孔硅作为绝热层材料,采用超高真空对靶磁控溅射镀膜法,在多孔硅样品表面和硅基底表面沉积氧化钒薄膜。实验采用电化学腐蚀法制备多孔硅,利用场致发射扫描电子显微镜观测了孔隙率为50%,60%,70%三个多孔硅样品的微观形貌。利用显微喇曼光谱法测量其热导率,分别为8.16,7.28和0.624W/mK;利用纳米压入仪测量氧化钒薄膜的显微硬度和杨氏模量,测得沉积在孔隙率为50%,60%,70%的多孔硅基底上氧化钒薄膜的显微硬度分别为1.917,0.928和0.13GPa,杨氏模量分别为31.087,16.921和2.285GPa,而沉积在单晶硅基底的氧化钒薄膜的显微硬度和杨氏模量分别为10.919GPa和193.792GPa,并分析了微观结构差异对多孔硅绝热性能和机械性能的影响,为非制冷红外探测器的工艺制作过程提供一定的热学力学参数。
- 杨海波胡明吕宇强甄志成张绪瑞张伟
- 关键词：非制冷红外探测器氧化钒多孔硅绝热层力学性能
