宋玲
- 作品数：3 被引量：7H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 用于GaN生长的生产型MOCVD设备控制系统设计被引量：2
- 2005年
- MOCVD法外延生长GaN基材料作为新世纪的核心技术之一受到全世界的高度重视。MOCVD技术涉及面广,控制对象复杂,且对控制对象的精度、重复性、可靠性要求较高。主要介绍了用于GaN基材料生长的生产型MOCVD(2″×6)设备控制系统的组成与特点。设备运行一年来的结果表明,该系统可靠性高、抗干扰性好、运行效果良好。
- 宋玲李学文廖炼斌刘亚红杨基南
- 关键词：MOCVDGAN自动控制系统
- LPCVD设备的高精度串级温度控制系统被引量：4
- 2006年
- 在大部分半导体工艺中,温度都是最重要的工艺参数之一,炉温的均匀性和稳定度对工艺都有着至关重要的影响。主要介绍了LPCVD设备中的高精度串级温度控制系统,该系统结构简单,控制效果良好,温度稳定度≤±0.5℃/24h。
- 宋玲廖炼斌张勇罗卫国
- 关键词：LPCVD串级控制温度控制
- 生产型管式PECVD设备被引量：1
- 2005年
- 太阳能电池作为新一代的绿色安全、无污染、长寿命的能源,已经广泛在欧洲等发达国家的军民行业中应用并在我国迅速推广。论述了由中国电子科技集团公司第四十八研究所研制的生产型管式PECVD设备的原理、构成及特点,并对其工艺结果进行了讨论。该设备已在国内太阳能电池生产线上运行近一年,其可靠性高,成膜均匀性好,得到了用户的好评。
- 宋玲刘恺杨彬陈必雄
- 关键词：PECVD太阳能电池多晶硅
