罗卫国
- 作品数：2 被引量：11H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- LPCVD设备的高精度串级温度控制系统被引量：4
- 2006年
- 在大部分半导体工艺中,温度都是最重要的工艺参数之一,炉温的均匀性和稳定度对工艺都有着至关重要的影响。主要介绍了LPCVD设备中的高精度串级温度控制系统,该系统结构简单,控制效果良好,温度稳定度≤±0.5℃/24h。
- 宋玲廖炼斌张勇罗卫国
- 关键词：LPCVD串级控制温度控制
- 应用于扩散工艺中的闭管扩散技术被引量：7
- 2006年
- 介绍了一种用于晶体硅太阳能电池p-n结制造的闭管扩散技术,它主要是针对目前使用的开管扩散技术的不足而提出的,实践证明,该技术不仅扩散均匀性优,而且节源、节能、环保,同时它还可以运用于其它半导体材料的扩散掺杂工艺。
- 向小龙彭志虹朱晓明罗卫国赵加宝罗亮
