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文献类型

  • 6篇中文专利

领域

  • 2篇动力工程及工...
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 2篇电路
  • 2篇电路拓扑
  • 2篇电路拓扑结构
  • 2篇增程
  • 2篇数字衰减器
  • 2篇衰减器
  • 2篇推进剂
  • 2篇推力
  • 2篇推力器
  • 2篇喷孔
  • 2篇平坦度
  • 2篇屏蔽结构
  • 2篇拓扑
  • 2篇拓扑结构
  • 2篇微波泄漏
  • 2篇微推力
  • 2篇微推力器
  • 2篇芯片
  • 2篇空气桥
  • 2篇互连

机构

  • 6篇中国电子科技...

作者

  • 6篇姜国庆
  • 6篇朱健
  • 4篇郁元卫
  • 2篇朱锋
  • 2篇贾世星
  • 2篇侯芳
  • 2篇姜理利
  • 2篇王守旭
  • 2篇孙俊峰

年份

  • 1篇2020
  • 2篇2018
  • 1篇2015
  • 1篇2014
  • 1篇2013
6 条 记 录,以下是 1-6
排序方式:
微屏蔽结构全密封式的层叠微机械滤波器
本发明是微屏蔽结构全密封式的层叠微机械滤波器,其结构包括上层衬底和下层衬底,其中上层衬底和下层衬底通过微机械对准键合工艺形成一体。微波信号由上层衬底滤波器输入端传送至下层衬底输入信号接口传输线,下层衬底信号输出通过输出通...
郁元卫侯芳朱健姜国庆朱锋
文献传递
具有推力增程模块的MEMS微推力器阵列芯片
本发明涉及一种具有推力增程模块的MEMS微推力器阵列芯片,包括由下至上依次设置的点火层、药室层和推力增程模块;所述推力增程模块的上表面设置有外喷孔,推力增程模块的下表面设置有内喷孔,内喷孔和外喷孔之间设置有单晶硅薄膜,作...
王守旭朱健姜国庆匡蕾夏燕
文献传递
具有推力增程模块的MEMS微推力器阵列芯片
本发明涉及一种具有推力增程模块的MEMS微推力器阵列芯片,包括由下至上依次设置的点火层、药室层和推力增程模块;所述推力增程模块的上表面设置有外喷孔,推力增程模块的下表面设置有内喷孔,内喷孔和外喷孔之间设置有单晶硅薄膜,作...
王守旭朱健姜国庆匡蕾夏燕
一种MEMS步进式数字衰减器
本发明公开了一种MEMS步进式数字衰减器,包括传输线和n个级联的可变衰减单元,n≥1;可变衰减单元包括电阻衰减网络、上MEMS开关和下MEMS开关,且上MEMS开关和下MEMS开关关于电阻衰减网络上下对称。本发明采用ME...
孙俊峰姜理利朱健郁元卫贾世星焦宗磊姜国庆
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微屏蔽结构全密封式的层叠微机械滤波器
本发明是微屏蔽结构全密封式的层叠微机械滤波器,其结构包括上层衬底和下层衬底,其中上层衬底和下层衬底通过微机械对准键合工艺形成一体。微波信号由上层衬底滤波器输入端传送至下层衬底输入信号接口传输线,下层衬底信号输出通过输出通...
郁元卫侯芳朱健姜国庆朱锋
一种MEMS步进式数字衰减器
本发明公开了一种MEMS步进式数字衰减器,包括传输线和n个级联的可变衰减单元,n≥1;可变衰减单元包括电阻衰减网络、上MEMS开关和下MEMS开关,且上MEMS开关和下MEMS开关关于电阻衰减网络上下对称。本发明采用ME...
孙俊峰姜理利朱健郁元卫贾世星焦宗磊姜国庆
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