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姜理利

作品数：24 被引量：0H指数：0
供职机构：中国电子科技集团公司第五十五研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 24篇中文专利

领域

  • 5篇电子电信

主题

  • 10篇开关
  • 8篇共面
  • 8篇共面波导
  • 8篇波导
  • 6篇信号
  • 5篇悬臂
  • 5篇悬臂梁
  • 5篇圆片
  • 5篇空气桥
  • 5篇机械开关
  • 5篇共面波导结构
  • 5篇波导结
  • 5篇波导结构
  • 4篇电镀
  • 4篇电路
  • 4篇电路拓扑
  • 4篇电路拓扑结构
  • 4篇拓扑
  • 4篇拓扑结构
  • 4篇微波信号

机构

  • 24篇中国电子科技...

作者

  • 24篇姜理利
  • 13篇郁元卫
  • 13篇朱健
  • 9篇贾世星
  • 8篇黄旼
  • 5篇黄镇
  • 4篇吴杰
  • 2篇姜国庆
  • 2篇张龙
  • 2篇侯芳
  • 2篇孙俊峰
  • 1篇王立峰

年份

  • 2篇2024
  • 2篇2023
  • 2篇2022
  • 5篇2021
  • 2篇2020
  • 1篇2019
  • 1篇2018
  • 2篇2017
  • 3篇2016
  • 1篇2015
  • 1篇2014
  • 1篇2011
  • 1篇2008
共 24 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
基于微机械通孔的MEMS数字可调滤波器
本发明公开了一种基于微机械通孔的MEMS数字可调滤波器，采用容MEMS体工艺和表面牺牲层工艺相兼容的方法制成，包括高阻硅衬底，高阻硅衬底上方设有滤波器的谐振结构，谐振结构四周设有微机械通孔，谐振结构具有输入端和输出端，谐...
郁元卫侯芳姜理利朱健
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一种含有鲨齿式触点系统的射频MEMS开关
本发明公开了一种含有鲨齿式触点系统的射频MEMS开关，包括驱动电极、鲨齿式触点系统、悬臂梁、共面波导信号线、固定锚区和衬底，所述驱动电极、共面波导信号线固定在衬底上，悬臂梁的固定端通过固定锚区固定在共面波导信号线上，驱动...
朱健姜理利贾世星郁元卫
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一种RF MEMS开关的圆片级封装方法
本发明公开了一种RF？MEMS开关的圆片级封装方法，利用一次涂胶、两次曝光、分步刻蚀的方法实现RF？MEMS开关的封帽圆片，封帽圆片含有对应开关结构区域的腔体和对应信号传输线的凹槽，将键合材料嵌入凹槽之中，与开关圆片对准...
朱健姜理利贾世星
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一种单片集成多波段控制MEMS开关
本发明公开了一种单片集成多波段控制MEMS开关，衬底、三个串联接触式MEMS开关单元、信号传输线、波段控制单元、封帽；三个串联接触式MEMS开关单元、信号传输线和波段控制单元制作在衬底上，信号传输线将三个开关单元连接成一...
黄镇郁元卫罗仁虎匡蕾姜理利王冬蕊
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一种电镀金属膜在线检测结构和检测方法
本发明公开了一种电镀金属膜在线检测结构和检测方法，通过测试结构的微波参数S21及机械谐振频率，实现电镀金属的材料参数应力、电导率、弹性系数的在线测试，检测结构采用表面牺牲层工艺制作，包括了共面波导传输线输入输出端，电感结...
姜理利王冬蕊
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一种高选择性掺钪氮化铝湿法刻蚀工艺方法
本发明涉及一种高选择性掺钪氮化铝湿法刻蚀工艺方法。包括（1）准备衬底晶圆，在衬底上依次沉积，种子层、掺钪氮化铝压电层、介质层，形成多层复合膜结构；（2）采用湿法工艺对介质层进行刻蚀，实现压电层的图形化掩蔽；（3）利用湿法...
李杰姜理利王雷陈聪黄旼郁元卫
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一种RF MEMS开关的圆片级封装方法
本发明公开了一种RF MEMS开关的圆片级封装方法，利用一次涂胶、两次曝光、分步刻蚀的方法实现RF MEMS开关的封帽圆片，封帽圆片含有对应开关结构区域的腔体和对应信号传输线的凹槽，将键合材料嵌入凹槽之中，与开关圆片对准...
朱健姜理利贾世星
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一种单片集成多波段控制MEMS开关
本发明公开了一种单片集成多波段控制MEMS开关，衬底、三个串联接触式MEMS开关单元、信号传输线、波段控制单元、封帽；三个串联接触式MEMS开关单元、信号传输线和波段控制单元制作在衬底上，信号传输线将三个开关单元连接成一...
黄镇郁元卫罗仁虎匡蕾姜理利王冬蕊
一种近零应力掺钪氮化铝薄膜制备方法
本发明公开了一种近零应力掺钪氮化铝薄膜制备方法，属于半导体制造技术领域。该方法具体包括以下步骤：a.对硅衬底进行烘烤，除去水汽和有机物沾污；b.对硅衬底进行预清洗，去除自然氧化层；c.对溅射靶材进行预处理，获得稳定的掺钪...
王雷李昊姜理利贾世星郁元卫黄旼朱健
一种电镀金属膜在线检测结构和检测方法
本发明公开了一种电镀金属膜在线检测结构和检测方法，通过测试结构的微波参数S21及机械谐振频率，实现电镀金属的材料参数应力、电导率、弹性系数的在线测试，检测结构采用表面牺牲层工艺制作，包括了共面波导传输线输入输出端，电感结...
姜理利王冬蕊
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