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黄镇

作品数：7 被引量：0H指数：0
供职机构：中国电子科技集团公司第五十五研究所更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇中文专利

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 5篇开关
  • 3篇信号
  • 3篇信号线
  • 3篇射频微机械开...
  • 3篇微机械开关
  • 3篇机械开关
  • 3篇共面
  • 3篇共面波导
  • 3篇共面波导结构
  • 3篇波导
  • 3篇波导结
  • 3篇波导结构
  • 3篇触点
  • 2篇单片
  • 2篇单片集成
  • 2篇氮化硅
  • 2篇氮化硅薄膜
  • 2篇电路
  • 2篇电路拓扑
  • 2篇电路拓扑结构

机构

  • 7篇中国电子科技...

作者

  • 7篇黄镇
  • 5篇姜理利
  • 3篇黄旼
  • 3篇吴杰
  • 2篇侯智昊
  • 2篇贾世星
  • 2篇郁元卫
  • 2篇吴璟
  • 2篇朱健

年份

  • 1篇2024
  • 1篇2022
  • 2篇2021
  • 1篇2020
  • 1篇2012
  • 1篇2011
共 7 条 记 录，以下是 1-7
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排序方式：
一种单片集成多波段控制MEMS开关
本发明公开了一种单片集成多波段控制MEMS开关，衬底、三个串联接触式MEMS开关单元、信号传输线、波段控制单元、封帽；三个串联接触式MEMS开关单元、信号传输线和波段控制单元制作在衬底上，信号传输线将三个开关单元连接成一...
黄镇郁元卫罗仁虎匡蕾姜理利王冬蕊
用于三明治结构MEMS硅电容压力传感器侧墙保护方法
本发明提供一种用于玻璃-硅-玻璃或硅-硅-玻璃三明治结构的MEMS电容式压力传感器侧墙保护方法，防止传感器在制作工艺过程中灰尘、水对电容间隙污染的工艺方法。其特征是在MEMS电容式压力传感器制作过程中，在导气孔前引入辅助...
朱健贾世星侯智昊吴璟黄镇
文献传递
一种环形触点射频微机械开关及其制备方法
本发明公开了一种环形触点射频微机械开关及其制备方法，开关包括衬底结构、用于传输射频/微波信号的共面波导结构、悬臂梁结构及用于直流驱动的驱动结构。共面波导结构包括位于中间的输入信号线、输出信号线和位于两侧的地线。悬臂梁右顶...
姜理利黄镇王冬蕊吴杰黄旼
文献传递
一种单片集成多波段控制MEMS开关
本发明公开了一种单片集成多波段控制MEMS开关，衬底、三个串联接触式MEMS开关单元、信号传输线、波段控制单元、封帽；三个串联接触式MEMS开关单元、信号传输线和波段控制单元制作在衬底上，信号传输线将三个开关单元连接成一...
黄镇郁元卫罗仁虎匡蕾姜理利王冬蕊
文献传递
用于三明治结构MEMS硅电容压力传感器侧墙保护方法
本发明提供一种用于玻璃-硅-玻璃或硅-硅-玻璃三明治结构的MEMS电容式压力传感器侧墙保护方法，防止传感器在制作工艺过程中灰尘、水对电容间隙污染的工艺方法。其特征是在MEMS电容式压力传感器制作过程中，在导气孔前引入辅助...
朱健贾世星侯智昊吴璟黄镇
一种环形触点射频微机械开关
本实用新型公开了一种环形触点射频微机械开关，包括衬底结构、用于传输射频/微波信号的共面波导结构、悬臂梁结构以及用于直流驱动的驱动结构；共面波导结构包括输入信号线、输出信号线、第一地线和第二地线，悬臂梁结构包括L型悬臂梁和...
姜理利黄镇王冬蕊吴杰黄旼
文献传递
一种环形触点射频微机械开关及其制备方法
本发明公开了一种环形触点射频微机械开关及其制备方法，开关包括衬底结构、用于传输射频/微波信号的共面波导结构、悬臂梁结构及用于直流驱动的驱动结构。共面波导结构包括位于中间的输入信号线、输出信号线和位于两侧的地线。悬臂梁右顶...
姜理利黄镇王冬蕊吴杰黄旼
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