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代朋磊
作品数:
5
被引量:6
H指数:1
供职机构:
大连理工大学
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发文基金:
国家自然科学基金
广东省教育部产学研结合项目
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相关领域:
自动化与计算机技术
交通运输工程
机械工程
金属学及工艺
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合作作者
丛明
大连理工大学机械工程学院精密与...
温海营
大连理工大学
杜宇
大连理工大学
刘侃
大连理工大学机械工程学院
徐晓飞
大连理工大学机械工程学院精密与...
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机构
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大连理工大学
作者
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代朋磊
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丛明
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杜宇
2篇
温海营
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刘侃
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徐晓飞
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机器人技术与...
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组合机床与自...
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1篇
2010
1篇
2009
2篇
2008
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面向汽车制造业的清洗机发展与分析
被引量:6
2008年
介绍了面向汽车制造业的清洗技术及清洗机国内外发展现状,分析了我国清洗机在技术上的差距与不足。经过剖析清洗机的典型结构,说明了清洗机各系统的作用及其实现方式。针对目前我国在清洗机领域存在的问题,从清洗机的模块化设计技术、高压清洗技术、柔性清洗技术、超声波清洗技术等四个方面对当前先进清洗机的关键技术进行了探讨。最后,对清洗机的未来发展趋势及市场前景做出了预测。
邸彦召
谭永良
丛明
代朋磊
刘侃
关键词:
清洗机
模块化设计
超声波清洗
一种真空机器人
本发明涉及一种工业用机器人,是在半导体集束型设备中用于在不同加工模块之间传输硅片的一种真空机器人。其特征是它由Z向升降机构I、θ向旋转机构II、R向直线伸缩机构III和末端执行器IV组成,利用同心三轴磁流体密封装置实现机...
丛明
代朋磊
杜宇
温海营
文献传递
应用于硅片传输机器人的磁流体密封研究
集成电路(IC)产业的快速发展对硅片传输机器人工作环境的洁净度及真空度提出了更高的要求。与传统机械密封相比,磁流体密封具有气密性高、低功耗、无污染、寿命长等特点,能够满足真空硅片加工环境的密封要求。因此,研究应用于真空硅...
代朋磊
关键词:
芯片制造
工业机器人
磁流体密封
文献传递
面向IC制造的轨道导引车系统
2008年
介绍面向IC制造的轨道导引车系统,综述该系统的发展历史及国内外的研究成果,分析轨道导引车的组成结构和工作原理,并对轨道设计技术、连续给电技术、定位技术、死锁避免技术和派遣技术五个关键技术进行探讨。
丛明
徐晓飞
代朋磊
关键词:
IC制造
一种真空机器人
本发明涉及一种工业用机器人,是在半导体集束型设备中用于在不同加工模块之间传输硅片的一种真空机器人。其特征是它由Z向升降机构I、θ向旋转机构II、R向直线伸缩机构III和末端执行器IV组成,利用同心三轴磁流体密封装置实现机...
丛明
代朋磊
杜宇
温海营
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