徐晓飞
- 作品数：5 被引量：28H指数：3
- 供职机构：大连理工大学机械工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金广东省教育部产学研结合项目更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术金属学及工艺化学工程更多>>
- 面向IC制造的轨道导引车系统
- 2008年
- 介绍面向IC制造的轨道导引车系统,综述该系统的发展历史及国内外的研究成果,分析轨道导引车的组成结构和工作原理,并对轨道设计技术、连续给电技术、定位技术、死锁避免技术和派遣技术五个关键技术进行探讨。
- 丛明徐晓飞代朋磊
- 关键词：IC制造
- 玻璃基板搬运机器人的设计被引量：4
- 2008年
- 讨论了FPD产业中玻璃基板搬运机器人的常用构型,确定了圆柱坐标型玻璃基板搬运机器人的设计方案。结合玻璃基板搬运机器人的设计过程和构型特点,着重介绍了玻璃基板搬运机器人R向伸缩模块、θ向旋转模块和Z向升降模块的功能及实现各模块功能的机械结构和运动机理,并以R向伸缩模块为例,从转矩匹配和转动惯量匹配两个方面校核了电机与负载的匹配性能。验证结果表明,玻璃基板搬运机器人所选电机与负载的匹配性能良好,且R向伸缩模块的转动惯量具有周期性变化的规律。
- 丛明徐晓飞杨明生穆从义
- 硅片传输机器人的发展及研究现状被引量：21
- 2007年
- 本文综述了硅片传输机器人的发展历史,探讨了硅片传输机器人的典型结构,分析了硅片传输机器人的研究现状,并介绍了硅片传输机器人的典型产品。
- 丛明于旭徐晓飞
- 关键词：集成电路硅片传输机器人典型结构
- 玻璃基板搬运机器人轨迹规划与控制系统研究
- 平板显示产业是电子信息产业中重要的基础性、战略性产业。玻璃基板是平板显示产业中不可或缺的关键基础材料之一。玻璃基板搬运机器人是一种在平板显示产品加工过程中承担玻璃基板交换与传递的自动化设备，其性能的优劣直接影响到平板显示...
- 徐晓飞
- 关键词：平板显示产业玻璃基板搬运机器人控制系统
- 文献传递
- FPD玻璃基板搬运机器人研究被引量：3
- 2008年
- 本文综述玻璃基板搬运机器人的发展历史,分析玻璃基板搬运机器人的典型结构,介绍玻璃基板搬运机器人的研究成果,探讨玻璃基板搬运机器人的研究方法。
- 丛明徐晓飞刘静石会立崔冬梅
- 关键词：平板显示搬运机器人玻璃基板
