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于旭

作品数：6 被引量：32H指数：3
供职机构：大连理工大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 2篇学位论文
  • 2篇专利

领域

  • 3篇自动化与计算...
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇电子电信

主题

  • 4篇电路
  • 4篇机器人
  • 4篇集成电路
  • 3篇运动控制
  • 2篇电路制造
  • 2篇运动性能
  • 2篇伺服
  • 2篇伺服运动
  • 2篇伺服运动控制
  • 2篇人机
  • 2篇主从式
  • 2篇主从式控制
  • 2篇机器人机构
  • 2篇集成电路制造
  • 2篇传动
  • 2篇传动方式
  • 1篇典型结构
  • 1篇动力学分析
  • 1篇运动控制卡
  • 1篇运动学

机构

  • 6篇大连理工大学

作者

  • 6篇于旭
  • 4篇丛明
  • 3篇沈宝宏
  • 2篇杜宇
  • 2篇金立刚
  • 1篇徐晓飞

传媒

  • 1篇高技术通讯
  • 1篇机器人技术与...

年份

  • 1篇2018
  • 1篇2008
  • 4篇2007
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
硅片传输机器人设计及轨迹规划
集成电路(IC)产业已成为世界经济的基础，IC装备是IC产业的必要支撑。硅片传输机器人是IC装备的核心技术之一，在硅片加工过程中承担着定位和传输两项关键任务，其性能的优劣直接影响硅片的生产效率和制造质量，体现整个加工系统...
于旭
关键词：集成电路机器人
文献传递
一种净化机器人
本发明涉及一种新型工业用机器人，主要是指在集成电路制造中不同加工模块之间实现硅片传输的一种净化机器人。其特征是它包括机座I、R同直线伸缩机构III、θ向旋转机构II、Z向升降机构II和末端执行器IV。其各向机构的驱动部件...
丛明沈宝宏于旭杜宇金立刚
文献传递
面向IC制造的净化机器人被引量：11
2007年
针对集成电路制造中环境洁净度与硅片传输任务的需求,提出了一种由径向直线伸缩机构以及旋转、升降运动模块组成的新型三自由度R-θ型净化机器人。该净化机器人采用两组行星轮系组合来实现关键的径向直线伸缩运动,并合理配置密封来实现上述需求。通过运动分析给出了实现径向直线伸缩运动的必要条件,进行了净化机器人的运动学与动力学分析。同时采用交流伺服电机作为驱动元件,基于MPC02运动控制卡作为上位控制单元构建了开放式控制系统。实验研究表明该净化机器人具有较高的速度、重复定位精度与应用洁净度。
丛明沈宝宏于旭
关键词：运动学分析动力学分析运动控制卡
一种净化机器人
本发明涉及一种新型工业用机器人，主要是指在集成电路制造中不同加工模块之间实现硅片传输的一种净化机器人。其特征是它包括机座I、R向直线伸缩机构III、θ向旋转机构II、Z向升降机构II和末端执行器IV。其各向机构的驱动部件...
丛明沈宝宏于旭杜宇金立刚
文献传递
汽车冲压件表面微塌陷深入仿真分析
车身覆盖件冲压成形是应用十分广泛的一种塑性成形技术，而在此基础上的有限元数值仿真也到了广泛的应用。但是随着汽车覆盖件板材逐渐采用厚度更薄的高强度钢板以及铝板，并且车身覆盖件的外形逐渐复杂的趋势之下，表面凹陷的产生逐渐增多...
于旭
关键词：车身覆盖件冲压成形
硅片传输机器人的发展及研究现状被引量：21
2007年
本文综述了硅片传输机器人的发展历史,探讨了硅片传输机器人的典型结构,分析了硅片传输机器人的研究现状,并介绍了硅片传输机器人的典型产品。
丛明于旭徐晓飞
关键词：集成电路硅片传输机器人典型结构
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