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马旭

作品数：95 被引量：13H指数：2
供职机构：北京理工大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信文化科学理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 93篇专利
  • 2篇期刊文章

领域

  • 20篇自动化与计算...
  • 11篇电子电信
  • 8篇文化科学
  • 3篇理学
  • 2篇机械工程

主题

  • 50篇光刻
  • 38篇光刻系统
  • 32篇光源
  • 32篇成像模型
  • 31篇掩模
  • 22篇矢量
  • 15篇图像
  • 14篇掩膜
  • 14篇梯度信息
  • 12篇相干
  • 12篇矩阵
  • 12篇感知
  • 10篇相干光
  • 9篇分辨率
  • 8篇相干光源
  • 8篇光学邻近效应
  • 8篇感知技术
  • 7篇梯度法
  • 7篇像素
  • 6篇电路

机构

  • 95篇北京理工大学
  • 2篇北京环境特性...
  • 1篇中国科学院微...
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 95篇马旭
  • 55篇李艳秋
  • 27篇董立松
  • 12篇王志强
  • 8篇高杰
  • 4篇贡萨洛·阿尔...
  • 4篇张昊
  • 4篇汪杰
  • 2篇刘丽辉
  • 2篇施东向
  • 2篇赵雪娇
  • 1篇金伟其
  • 1篇李力
  • 1篇韦亚一
  • 1篇王霞
  • 1篇杨亮

传媒

  • 1篇红外与激光工...
  • 1篇激光与光电子...

年份

  • 5篇2024
  • 3篇2023
  • 8篇2022
  • 5篇2021
  • 13篇2020
  • 6篇2019
  • 3篇2018
  • 6篇2017
  • 3篇2016
  • 4篇2015
  • 6篇2014
  • 12篇2013
  • 13篇2012
  • 8篇2011
共 95 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种基于像素的光学邻近效应校正的优化方法
本发明涉及一种基于像素的光学邻近效应校正的优化方法，通过将目标图形作为初始掩膜图形M<Sub>0</Sub>，并设定矩形总数上限为L；计算目标函数的梯度<Image file="DDA000005110507000001...
马旭李艳秋
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基于Abbe矢量成像模型的非理想光刻系统OPC的优化方法
本发明提供一种基于Abbe矢量成像模型的非理想光刻系统OPC的优化方法，该方法设置掩膜中开口部分以及阻光部分的透射率，设置变量矩阵Ω，将目标函数D构造为理想像面处的成像评价函数与离焦量为fnm的像面处的成像评价函数的线性...
马旭李艳秋董立松
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一种计算光刻的深度学习方法
本发明公开了一种计算光刻的深度学习方法，能够提高传统OPC方法的优化速度和收敛性能，既可用于深紫外DUV光刻，又可用于极紫外EUV光刻。首先展开梯度迭代算法并截取其前若干步，结合光刻系统成像模型和光刻胶模型，创建前向的基...
马旭郑现强
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一种基于基本模块的掩模辅助图形优化方法
本发明提供一种基于基本模块的掩模辅助图形优化方法，在给定目标图形和掩模主体图形的前提下，本方法将掩模辅助图形构造为若干单边尺寸大于阈值的基本模块与表示基本模块位置的系数矩阵的卷积，将整体掩模图形构造为掩模主体图形与辅助图...
马旭李艳秋宋之洋
一种基于信息论的成像分辨率增强方法
本发明提供一种基于信息论的成像分辨率增强方法，首先根据信息理论建立PSM的光刻系统信道模型，然后求解信息理论下的最优掩模概率分布、最优光刻系统参数集合，以及最优工艺参数集合，最后采用信息理论方法建立PSM优化算法的数学模...
马旭潘毅华
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一种采用压缩感知技术的光源掩模优化方法
本发明公开了一种采用压缩感知技术的光源掩模优化方法，本发明将光源优化SO问题构造为在解为非负约束条件下求解2范数的图像恢复问题，即：<Image file="DDA0001703358050000011.GIF" he=...
马旭王志强赵琦乐
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基于Abbe矢量成像模型的光源-掩模-偏振态联合优化方法
本发明涉及一种基于Abbe矢量成像模型的光源-掩模-偏振态交替优化方法，本方法设置光源图形像素值、掩模中开口部分以及阻光部分的透射率和偏振态电矢量方向角，设置变量矩阵Ω<Sub>S</Sub>、Ω<Sub>M</Sub>...
马旭李艳秋韩春营董立松高杰
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基于Abbe矢量成像模型的光学邻近效应校正的优化方法
本发明提供一种基于Abbe(阿贝)矢量成像模型的光学邻近效应校正的优化方法，本方法设置掩膜中开口部分以及阻光部分的透射率，设置变量矩阵Ω，将目标函数D构造为目标图形与当前掩膜对应的光刻胶中成像之间的欧拉距离的平方；利用变...
马旭李艳秋董立松
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一种采用自适应压缩感知技术的光源优化方法
本发明提供一种采用自适应压缩感知(compressive sensing，简称CS)技术的光源优化(source optimization，简称SO)方法。相比现有的CS‑SO算法，本发明中的SO方法得到的观测点分布能够...
马旭施东向王志强李艳秋
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一种自由感知几何框架下的低辐射度CXT方法
本发明提供一种基于自由感知几何框架下的低辐射度CXT方法，具体为：使用多个X射线光源或一个可移动的X射线光源对目标物体进行投影照射，设定在每次照射位置与目标物体之间放置编码孔径；建立目标函数对编码孔径、光源照射位置、光源...
马旭许昊
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