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王志强
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北京理工大学
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相关领域:
自动化与计算机技术
经济管理
电子电信
机械工程
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合作作者
马旭
北京理工大学
李艳秋
北京理工大学
赵雪娇
北京理工大学
施东向
北京理工大学
张昊
北京理工大学
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王志强
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一种计算相干成像光刻系统信道容量和成像误差下限的方法
本发明涉及一种计算相干成像光刻系统信道容量和成像误差理论下限的方法,具体步骤为:将掩模图形M栅格化;用二值随机变量X表示掩模图像M上某像素点A的值,用二值随机变量Y表示光刻胶成像Z上对应于掩模点A的像素点B的值;将相干光...
马旭
张昊
王志强
李艳秋
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OLE过程控制技术的应用
王志强
关键词:
COM/DCOM技术
OPC技术
串口通信
单片微处理器控制的视力标准测试仪
王志强
关键词:
单片
微处理器控制
视力
一种采用压缩感知技术的光源掩模优化方法
本发明公开了一种采用压缩感知技术的光源掩模优化方法,本发明将光源优化SO问题构造为在解为非负约束条件下求解2范数的图像恢复问题,即:<Image file="DDA0001703358050000011.GIF" he=...
马旭
王志强
赵琦乐
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一种采用自适应压缩感知技术的光源优化方法
本发明提供一种采用自适应压缩感知(compressive sensing,简称CS)技术的光源优化(source optimization,简称SO)方法。相比现有的CS‑SO算法,本发明中的SO方法得到的观测点分布能够...
马旭
施东向
王志强
李艳秋
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一种基于模型驱动卷积神经网络的计算光刻方法
本发明公开了一种基于模型驱动卷积神经网络的计算光刻方法,能够提高OPC方法的计算速度和收敛性能。其技术方案包括:将梯度迭代算法进行展开和截断,构建基于模型驱动的卷积神经网络MCNN。基于光刻系统的成像模型构建与MCNN相...
马旭
王志强
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一种基于信号站的位置和姿态估计方法
本发明提供一种基于信号站的位置和姿态估计方法。本方法采用待测物体上的均匀直线阵和压缩感知技术,实时接收信号站信号并计算所有信号对于待测物体的达到角度。根据各个信号站的位置和所有信号的到达角度,采用扩展卡尔曼滤波技术对物体...
马旭
赵雪娇
王志强
李艳秋
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一种采用压缩感知的快速光源优化方法
本发明提供一种采用压缩感知的快速光源优化方法,首先对照明交叉系数矩阵I<Sub>cc</Sub>和目标图形向量<Image file="DDA0002151589730000011.GIF" he="73" imgCon...
马旭
王志强
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一种计算相干成像光刻系统信道容量和成像误差下限的方法
本发明涉及一种计算相干成像光刻系统信道容量和成像误差理论下限的方法,具体步骤为:将掩模图形M栅格化;用二值随机变量X表示掩模图像M上某像素点A的值,用二值随机变量Y表示光刻胶成像Z上对应于掩模点A的像素点B的值;将相干光...
马旭
张昊
王志强
李艳秋
沈诗欢
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一种采用压缩感知技术的光源掩模优化方法
本发明公开了一种采用压缩感知技术的光源掩模优化方法,本发明将光源优化SO问题构造为在解为非负约束条件下求解2范数的图像恢复问题,即:<Image file="DDA0001703358050000011.GIF" he=...
马旭
王志强
赵琦乐
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