您的位置： 专家智库 > >

孙琪

作品数：11 被引量：0H指数：0
供职机构：上海交通大学更多>>
相关领域：经济管理更多>>

合作作者

文献类型

  • 10篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇经济管理

主题

  • 10篇电镀
  • 8篇镀铜
  • 6篇镀液
  • 6篇铜互连
  • 6篇互连
  • 5篇电镀铜
  • 5篇电极
  • 3篇铜液
  • 3篇金属
  • 3篇金属电极
  • 2篇电镀添加剂
  • 2篇电流
  • 2篇镀铜液
  • 2篇深孔
  • 2篇芯片
  • 2篇接缝
  • 2篇孔底
  • 2篇加速剂
  • 2篇工作电极
  • 2篇半导体

机构

  • 11篇上海交通大学

作者

  • 11篇孙琪
  • 10篇李明
  • 10篇曹海勇
  • 6篇张俊红
  • 4篇李义
  • 4篇凌惠琴

年份

  • 5篇2016
  • 5篇2014
  • 1篇2001
共 11 条 记 录，以下是 1-10
全选 清除 导出
排序方式：
深孔电镀的预处理方法
本发明涉及一种深孔电镀的预处理方法，包括如下步骤：步骤（1）选择待镀的具有一个或多个深孔的半导体芯片，选择纯水，并冷却；步骤（2）将所述半导体芯片进行抽真空处理；步骤（3）将所述半导体芯片在真空下浸泡在所述纯水中；步骤（...
李明凌惠琴孙琪曹海勇李义
文献传递
铜互连电镀填充效果的评价方法
本发明提供了一种铜互连电镀填充效果的评价方法，包括如下步骤：利用一种表面形成图形化的金属电极测电化学曲线；利用一种平面的金属电极测电化学曲线；比较上述两种电化学曲线，评价镀铜液的填充效果；调整电镀铜液的组分浓度和金属电极...
李明凌惠琴张俊红曹海勇孙琪
文献传递
铜互连电镀填充方法
本发明涉及一种铜互连电镀填充方法，包括以下步骤：将用于孔填充的镀铜液作为电解液，放入三电极体系中，测量其电化学曲线；根据电化学曲线确定电流峰和电流谷分别对应的电压值；将具有孔结构的样品作为工作电极放入三电极体系中，使孔表...
李明张俊红孙琪曹海勇
文献传递
铜互连电镀填充效果的评价方法
本发明提供了一种铜互连电镀填充效果的评价方法，包括如下步骤：利用一种表面形成图形化的金属电极测电化学曲线；利用一种平面的金属电极测电化学曲线；比较上述两种电化学曲线，评价镀铜液的填充效果；调整电镀铜液的组分浓度和金属电极...
李明凌惠琴张俊红曹海勇孙琪
文献传递
深孔镀铜加速剂的测量方法
本发明涉及一种深孔镀铜加速剂的测量方法，包括如下步骤：步骤（1）选择金属电极作为工作电极，惰性金属片为对电极，饱和甘汞电极为参比电极，组成三电极体系，选择铜电镀液；步骤（2）测量不含加速剂的基础镀液的阴极极化曲线；步骤（...
李明孙琪曹海勇李义
文献传递
铜互连电镀填充方法
本发明涉及一种铜互连电镀填充方法，包括以下步骤：将用于孔填充的镀铜液作为电解液，放入三电极体系中，测量其电化学曲线；根据电化学曲线确定电流峰和电流谷分别对应的电压值；将具有孔结构的样品作为工作电极放入三电极体系中，使孔表...
李明张俊红孙琪曹海勇
文献传递
风险投资项目评估研究
该文内容大致分为三个部分.在文章的第一部分,首先对风险投资的内涵、特征、作用以及它的历史和现状,作了详细的介绍和分析.在第二部分,作者分析风险投资和项目评估体系,传统的财务分析在风险投资决策中已居次要地位,并分别对风险企...
孙琪
关键词：风险投资
文献传递
铜互连电镀添加剂的评价方法
本发明涉及一种铜互连电镀添加剂的评价方法，包括如下步骤：步骤（1）将一种具有表面形貌特征的金属电极作为工作电极测定电化学曲线；步骤（2）将一种平面的金属电极作为工作电极测定电化学曲线；步骤（3）通过步骤（1）和（2）测量...
李明张俊红曹海勇孙琪
文献传递
深孔镀铜加速剂的测量方法
本发明涉及一种深孔镀铜加速剂的测量方法，包括如下步骤：步骤（1）选择金属电极作为工作电极，惰性金属片为对电极，饱和甘汞电极为参比电极，组成三电极体系，选择铜电镀液；步骤（2）测量不含加速剂的基础镀液的阴极极化曲线；步骤（...
李明孙琪曹海勇李义
文献传递
深孔电镀的预处理方法
本发明涉及一种深孔电镀的预处理方法，包括如下步骤：步骤（1）选择待镀的具有一个或多个深孔的半导体芯片，选择纯水，并冷却；步骤（2）将所述半导体芯片进行抽真空处理；步骤（3）将所述半导体芯片在真空下浸泡在所述纯水中；步骤（...
李明凌惠琴孙琪曹海勇李义
文献传递
全选 清除 导出
共2页<12>
聚类工具0