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黄晖

作品数：2 被引量：13H指数：1
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
相关领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

领域

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主题

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  • 9个刻蚀
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机构

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地区

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共 9 条 记 录，以下是 1-9
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄树森
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 压阻式加速度传感器 深反应离子刻蚀 微机械技术 振动频率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张鲲
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：加速度传感器 微机械 压阻 加速度计 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李欣昕
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅纳米线 压阻式加速度传感器 微机械 振动频率 深反应离子刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈雪萌
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：压阻 微机械陀螺 加速度计 陀螺 深反应离子刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李昕欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋朝晖
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：压阻 深反应离子刻蚀 高灵敏度 加速度传感器 绝缘工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋朝辉
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：加速度计 高量程加速度传感器 量程 加速度传感器 测试装置
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭南翔
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 悬臂梁 MEMS 压阻式加速度传感器 振动频率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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