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卢美丽

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合作作者

领域

  • 2个电子电信
  • 2个自动化与计算...
  • 1个经济管理

主题

  • 3个晶圆
  • 3个光刻
  • 3个光刻胶
  • 3个光阻
  • 3个半导体
  • 2个喷胶
  • 2个喷涂
  • 2个喷嘴
  • 2个清洗槽
  • 2个清洗液
  • 2个全自动
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  • 2个感器
  • 2个传感
  • 2个传感器

机构

  • 3个沈阳芯源微电...

传媒

  • 1个电子与封装
  • 1个科技创新导报
  • 1个科技经济导刊

地区

  • 3个辽宁省
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王绍勇
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：半导体设备 晶圆 变型 半导体 安全传送
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汪涛
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：半导体行业 晶圆 湿法处理 承片台 半导体
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程虎
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：基板 处理系统 半导体 大尺寸 流体
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