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程虎

作品数：18 被引量：0H指数：0
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 17篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 7篇基板
  • 7篇半导体
  • 6篇处理系统
  • 4篇喷涂
  • 4篇小尺寸
  • 4篇流体
  • 4篇大尺寸
  • 3篇支承
  • 3篇烘烤
  • 2篇支承装置
  • 2篇喷胶
  • 2篇喷嘴
  • 2篇平移
  • 2篇清洗槽
  • 2篇清洗液
  • 2篇全自动
  • 2篇自动阀
  • 2篇自动清洗装置
  • 2篇脱泡
  • 2篇温度监控

机构

  • 18篇沈阳芯源微电...

作者

  • 18篇程虎
  • 2篇王绍勇
  • 2篇李宝
  • 1篇卢美丽

传媒

  • 1篇科技创新导报

年份

  • 2篇2019
  • 4篇2018
  • 4篇2017
  • 3篇2016
  • 4篇2015
  • 1篇2014
共 18 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种基板烘烤支承装置
本发明属于半导体处理系统中对基板处理的技术领域，具体地说是一种基板烘烤支承装置。包括装置支撑部、小尺寸基板支承部、大尺寸基板支承部、加热部、加热系统、升降部及升降控制系统，其中加热部设置于装置支撑部上、并与加热系统连接，...
程虎
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一种基板翻转对中装置
本发明属于半导体处理系统中对基板处理的技术领域，具体地说是一种基板翻转对中装置。包括保持部II、保持部I、翻转驱动部、平移驱动部、控制部I、控制部II、传动机构I及传动机构II，其中保持部II和保持部I通过传动机构II与...
程虎
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一种不同尺寸基板喷涂用支撑加热装置
本发明涉及半导体处理系统中对基板处理设备，具体地说是一种不同尺寸基板喷涂用支撑加热装置，加热支撑盘内设有真空通道，在加热支撑盘的表面上均布有与真空通道相连通的真空孔；盘体支撑轴与加热支撑盘相连，真空通道通过盘体支撑轴与真...
程虎
一种半导体处理系统中流体除气泡装置及其除气泡方法
本发明属于半导体处理系统中对流体处理的领域，具体地说是一种半导体处理系统中流体除气泡装置及其除气泡方法，装置包括液体容器、液体泵、三通接头、第一、二控制器、第一、二通断阀、喷嘴、废液回收桶及液体泵控制器，三通接头分别通过...
程虎李宝
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一种防止光阻回流的装置
本实用新型属于半导体处理系统中对光阻处理的领域，具体的说是一种更换光阻瓶时防止光阻回流的装置，包括光阻管路、光阻瓶盖、光阻瓶、防空管堵、光阻瓶托板及称重传感器，光阻瓶放置在光阻瓶托板上，光阻瓶托板上安装有称重传感器；光阻...
王玉政程虎
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一种喷涂用喷嘴自动清洗装置及其清洗方法
本发明属于半导体处理系统中对工艺部件处理领域，具体地说是一种喷涂用喷嘴自动清洗装置及其清洗方法，升降装置安装在升降装置固定部上，清洗槽固定部的一端与升降装置的输出端相连，另一端安装有清洗槽；清洗槽槽底下方内部开有沟槽，并...
程虎王绍勇
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一种半导体处理系统中的流体脱泡装置和方法
本发明属于半导体处理系统中对流体处理的技术领域，具体地说是一种半导体处理系统中的流体脱泡装置，包括：缓冲容器、介质容器、超声波换能器、换能器控制部、总控制部；所述缓冲容器浸入介质容器的介质中，超声波换能器安装于介质容器外...
程虎
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全自动匀胶机(1)
1．本外观设计产品的名称：全自动匀胶机(1)。;2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于晶圆匀胶制造工艺。;3．本外观设计产品的设计要点：在于产品的整体形状。;4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图。
程虎曲征辉
一种不同尺寸基板喷涂用支撑加热装置
本发明涉及半导体处理系统中对基板处理设备，具体地说是一种不同尺寸基板喷涂用支撑加热装置，加热支撑盘内设有真空通道，在加热支撑盘的表面上均布有与真空通道相连通的真空孔；盘体支撑轴与加热支撑盘相连，真空通道通过盘体支撑轴与真...
程虎
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一种半导体处理系统中流体除气泡装置及其除气泡方法
本发明属于半导体处理系统中对流体处理的领域，具体地说是一种半导体处理系统中流体除气泡装置及其除气泡方法，装置包括液体容器、液体泵、三通接头、第一、二控制器、第一、二通断阀、喷嘴、废液回收桶及液体泵控制器，三通接头分别通过...
程虎李宝
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共2页<12>
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