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卢美丽

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文专利

主题

  • 2篇雾化
  • 2篇晶圆
  • 2篇胶膜
  • 2篇光刻
  • 2篇光刻胶
  • 2篇光阻
  • 2篇半导体
  • 1篇真空系统
  • 1篇支承
  • 1篇喷胶
  • 1篇驱动控制
  • 1篇驱动控制系统
  • 1篇控制系统
  • 1篇基板
  • 1篇烘烤

机构

  • 3篇沈阳芯源微电...

作者

  • 3篇卢美丽
  • 2篇王绍勇
  • 2篇汪涛
  • 1篇程虎

年份

  • 1篇2018
  • 1篇2016
  • 1篇2015
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
一种半导体制成厚胶膜涂覆装置及其使用方法
本发明涉及半导体加工领域，具体地说是一种半导体制成厚胶膜涂覆装置及其使用方法，包括电缸、喷头、胶杯组件、旋转吸附机构和基板，其中电缸和胶杯组件均设置于基板上，所述电缸上设有移动梁，间距和高度均可调的喷头设置于所述移动梁上...
王绍勇汪涛卢美丽
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一种基板周边吸附烘烤结构
本发明属于半导体处理系统中对基板处理的技术领域，具体地说是一种基板周边吸附烘烤结构。包括烘烤盘体、基板支承部、基板支承连接部、升降驱动控制系统、烘烤盘体支承部、真空接口及真空系统，其中烘烤盘体连接于烘烤盘体支承部的上端、...
卢美丽程虎
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一种半导体制成厚胶膜涂覆装置及其使用方法
本发明涉及半导体加工领域，具体地说是一种半导体制成厚胶膜涂覆装置及其使用方法，包括电缸、喷头、胶杯组件、旋转吸附机构和基板，其中电缸和胶杯组件均设置于基板上，所述电缸上设有移动梁，间距和高度均可调的喷头设置于所述移动梁上...
王绍勇汪涛卢美丽
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