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李宝

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇流体
  • 2篇控制器
  • 2篇回收
  • 2篇废液
  • 2篇废液回收
  • 2篇半导体
  • 2篇除气
  • 2篇处理系统

机构

  • 2篇沈阳芯源微电...

作者

  • 2篇程虎
  • 2篇李宝

年份

  • 1篇2017
  • 1篇2015
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种半导体处理系统中流体除气泡装置及其除气泡方法
本发明属于半导体处理系统中对流体处理的领域，具体地说是一种半导体处理系统中流体除气泡装置及其除气泡方法，装置包括液体容器、液体泵、三通接头、第一、二控制器、第一、二通断阀、喷嘴、废液回收桶及液体泵控制器，三通接头分别通过...
程虎李宝
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一种半导体处理系统中流体除气泡装置及其除气泡方法
本发明属于半导体处理系统中对流体处理的领域，具体地说是一种半导体处理系统中流体除气泡装置及其除气泡方法，装置包括液体容器、液体泵、三通接头、第一、二控制器、第一、二通断阀、喷嘴、废液回收桶及液体泵控制器，三通接头分别通过...
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