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李惠
作品数:
2
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供职机构:
北京有色金属研究总院
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发文基金:
国家科技重大专项
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相关领域:
电子电信
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合作作者
石宇
北京有色金属研究总院
曹孜
北京有色金属研究总院
孙燕
北京有色金属研究总院
刘云霞
北京有色金属研究总院
周旗钢
北京有色金属研究总院
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孙燕
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:抛光片 氧化诱生层错 硅片表面 硅片 表面光电压法
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所获资助
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曹孜
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:氧化诱生层错 CR SI单晶 硅单晶 抛光片
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石宇
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:氧化诱生层错 CR SI单晶 硅单晶 抛光片
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供职机构
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刘云霞
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:氧化诱生层错 CR SI单晶 硅单晶 抛光片
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周旗钢
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅单晶 硅片 300MM硅片 单晶硅 直拉硅单晶
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翟富义
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 单晶硅 磨片 位错 损伤层
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边永智
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:尺寸 晶圆 产品尺寸 氧化诱生层错 机械手
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