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张文雅
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19
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供职机构:
中国电子科技集团第十三研究所
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电子电信
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电气工程
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合作作者
赵英伟
中国电子科技集团第十三研究所
郝晓亮
中国电子科技集团第十三研究所
马培圣
中国电子科技集团第十三研究所
宋健
中国电子科技集团第十三研究所
王秀海
中国电子科技集团第十三研究所
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赵英伟
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:设备维修 存储介质 参数辨识 晶圆 漏液
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郝晓亮
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:等离子 半导体设备 真空 承片台 波纹管
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马培圣
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:承片台 波纹管 波导 压板 辅助设备
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邵会民
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:坩埚 磷化铟 晶体生长 半导体晶体 籽晶
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孙聂枫
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:磷化铟 坩埚 晶体生长 INP 籽晶
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顾占彪
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:晶体 炉体 坩埚 磷化铟 籽晶
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曹健
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:校准 测试夹具 散射参数 串扰 S参数
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李晓岚
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:磷化铟 坩埚 半导体晶体 晶体生长 炉体
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吴爱华
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:校准 S参数 校准方法 终端设备 计量学
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宋健
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:投影光刻机 LSA I7 TTL NS
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