王秀海
- 作品数：22 被引量：20H指数：3
- 供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术化学工程环境科学与工程更多>>
- 半导体工艺设备维修过程中安全风险管理
- 2024年
- 针对半导体工艺设备特点,对设备维修过程中安全风险因素进行辨识、分类、分析,强化维修过程中安全意识,建立一系列安全体系规章制度。根据工艺设备特点有针对的制定维修安全方案,能够保障设备维修人员安全,规范设备维修流程,同时也提升了维修质量,保障半导体工艺设备的正常运行。
- 朱超刘霞美王秀海赵英伟
- 关键词：半导体工艺设备设备维修
- 非接触式晶圆翻转装置及翻转方法
- 本发明提供了一种非接触式晶圆翻转装置及翻转方法，属于半导体制作技术领域，包括旋转手指气缸、两组晶圆夹持支撑件以及晶圆夹持机械手，旋转手指气缸具有至少180°旋转的自由度及手指相对移动的自由度；两组晶圆夹持支撑件对称固定于...
- 文黎波王秀海刘柄义赵英伟吴爱华秦天郝晓亮马培圣曹健张文雅
- 去除晶圆表面蓝膜的辅助设备及方法
- 本发明提供了一种去除晶圆表面蓝膜的辅助设备及方法，属于晶圆制造技术领域，去除晶圆表面蓝膜的辅助设备包括真空发生器、承片台、紫外灯、控制器和压力传感器，承片台通过第一气体管道与真空发生器连接，用于吸附固定晶圆；紫外灯与承片...
- 郝晓亮曹健王秀海马培圣
- 文献传递
- 基于光热反射的温度测量方法、装置及终端设备
- 本发明提供了一种基于光热反射的温度测量方法、装置及终端设备，该方法包括：获取第一温度的待测件在第一波长下的第一探测值、以及在第二波长下的第二探测值，确定第一探测比；获取第二温度的待测件在第一波长下的第三探测值、以及在第二...
- 刘岩翟玉卫田秀伟王秀海吴爱华
- 热场发射电子枪在电子束光刻机中的应用研究
- 2022年
- 介绍了电子枪的分类与特点,重点介绍了热场发射电子枪的原理、结构、特点及在电子束光刻机中的应用。阐述了电子束光刻机束流与电子枪提取极电流之间关系,并分析了热场发射电子枪各个参数对提取极电流的影响。研究了热场发射电子枪的调校对电子束光刻工艺的影响,并通过实验得出束斑与束流的关系。最后通过调整电子枪参数,制备了不同的光刻图形,满足了不同的光刻工艺要求,验证了分析的结论。
- 郝晓亮赵英伟孙虎王秀海曹健马培圣任泽生
- 碳化硅外延生长室
- 本发明提供了一种碳化硅外延生长室，属于半导体领域，包括上室体及下室体，上室体具有上空腔，所述上室体内设有上支撑板；下室体固设于上室体的下方，下室体具有下空腔，下室体内设有下支撑板，上支撑板与下支撑板之间构成生长室，下支撑...
- 刘炳义秦天赵英伟路孟喜马培圣吴爱华王秀海郝晓亮文黎波
- 快速退火炉中影响工艺质量的因素分析被引量：2
- 2012年
- 基于快速热处理技术,对快速退火炉的特点进行了阐述,介绍了快速退火炉的腔室结构,从综合分析设备的基础上阐述了影响工艺质量的主要因素。加热灯使用寿命会影响腔室的温度均匀性,更换加热灯和调整各灯组的功率因子可以提高温度均匀性。保护气体流量对晶片的边缘效应会导致晶片受热不均匀进而影响到工艺的均匀性,调整保护气体流量也是保证工艺质量的关键。金属腔体的洁净度会影响到热辐射的均匀性和升温速率,必须定期清理。石英腔体的洁净程度会影响到温度测量的精度,应定期清理腔体并进行温度校正。
- 王秀海
- 关键词：快速退火温度测量红外辐射均匀性
- 扁平式磁力开关座及磁吸启闭方法
- 本发明提供了一种扁平式磁力开关座及磁吸启闭方法，属于机械制造技术领域，包括：底座、隔离条、磁开关以及盖板，隔离条嵌设于底座上；磁开关设置于底座的腔体内，隔离条位于腔体内；磁开关包括旋转板和两块磁铁，旋转板上设有两个用于放...
- 马培圣王秀海赵英伟吴爱华栾鹏郝晓亮曹健文黎波贾宜萱
- e型电子束蒸发源的原理及维修被引量：4
- 2012年
- 电子束蒸发由于其显著的优点应用日趋广泛,成为工业镀膜工艺中最主要的技术之一。基于真空镀膜技术,首先对电子束蒸发的定义进行了阐述,介绍了电子束蒸发源的特点及优势,详细说明了e型电子束蒸发源的结构及工作原理。重点分析了电子枪灯丝与聚束极的相对位置对束斑及束流大小的影响。结合维修经验对e型电子束蒸发源的日常维护进行了总结,对更换电子枪灯丝步骤及注意事项进行了细致说明,着重提出了腔室及蒸发源的洁净度对工艺质量的影响。最后对于蒸发过程中常见故障现象及解决方法进行说明。
- 王秀海
- 关键词：电子束电子枪故障现象
- 焊接波纹管漏点检测装置
- 本发明提供了一种焊接波纹管漏点检测装置，包括上固定板、下固定板、连杆机构、压紧机构及抽放气管路；上固定板底面上可拆卸连接有多条间隔设置的上环形密封圈；下固定板顶面上可拆卸连接有多条间隔设置的下环形密封圈；连杆机构包括连接...
- 王秀海马培圣郝晓亮曹健
- 文献传递
