马培圣
- 作品数：20 被引量：1H指数：1
- 供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术化学工程文化科学更多>>
- 基于DSP增益可控的光刻机测高电路的设计研究
- 2021年
- 介绍了激光三角法高度测量技术和基于数字信号处理器DSP与线阵CCD的激光高度测量系统。采用比例恒流源和镜像恒流源组合,设计了输出功率稳定可调的激光二极管驱动电路和线阵CCD的驱动电路,借助DSP定时器周期调节灵活的优点,方便地调节光积分时间来提高信号质量。针对光刻工艺中不同的测量对象表面的光学特征,自动进行激光二极管增益控制和光积分时间调节,提高测量的适应性和测量效率。
- 赵英伟郝晓亮张文雅马培圣文黎波
- 关键词：激光三角法线阵CCD数字信号处理器光刻机
- 焊接波纹管漏点检测装置
- 本发明提供了一种焊接波纹管漏点检测装置，包括上固定板、下固定板、连杆机构、压紧机构及抽放气管路；上固定板底面上可拆卸连接有多条间隔设置的上环形密封圈；下固定板顶面上可拆卸连接有多条间隔设置的下环形密封圈；连杆机构包括连接...
- 王秀海马培圣郝晓亮曹健
- 文献传递
- 一种抗结霜低温波导噪声源
- 本发明提供一种抗结霜低温波导噪声源。该噪声源包括矩形波导，矩形波导的输入端设置有刀口法兰密封模块，矩形波导内部气压大于设定的正气压时，刀口法兰密封模块的刀口处产生漏气，矩形波导内部气压小于等于设定的正气压时，刀口法兰密封...
- 栾鹏刘晨王一帮马培圣霍晔孙静张立飞吴爱华梁法国
- 非接触式晶圆翻转装置及翻转方法
- 本发明提供了一种非接触式晶圆翻转装置及翻转方法，属于半导体制作技术领域，包括旋转手指气缸、两组晶圆夹持支撑件以及晶圆夹持机械手，旋转手指气缸具有至少180°旋转的自由度及手指相对移动的自由度；两组晶圆夹持支撑件对称固定于...
- 文黎波王秀海刘柄义赵英伟吴爱华秦天郝晓亮马培圣曹健张文雅
- 去除晶圆表面蓝膜的辅助设备及方法
- 本发明提供了一种去除晶圆表面蓝膜的辅助设备及方法，属于晶圆制造技术领域，去除晶圆表面蓝膜的辅助设备包括真空发生器、承片台、紫外灯、控制器和压力传感器，承片台通过第一气体管道与真空发生器连接，用于吸附固定晶圆；紫外灯与承片...
- 郝晓亮曹健王秀海马培圣
- 文献传递
- 一种电子束光阑和束闸一体化装置和电子光学系统
- 本申请提供了一种电子束光阑和束闸一体化装置和电子光学系统，该装置包括：基座、正极、第一光阑片和第二光阑片；基座的内部设置有第一负极板和第二负极板，顶部设置有第一光阑片安装孔和第二光阑片安装孔；正极呈长条状，正极的上部与基...
- 赵英伟郝晓亮马培圣程壹涛文黎波刘炳义吴爱华刘岩
- 热场发射电子枪在电子束光刻机中的应用研究
- 2022年
- 介绍了电子枪的分类与特点,重点介绍了热场发射电子枪的原理、结构、特点及在电子束光刻机中的应用。阐述了电子束光刻机束流与电子枪提取极电流之间关系,并分析了热场发射电子枪各个参数对提取极电流的影响。研究了热场发射电子枪的调校对电子束光刻工艺的影响,并通过实验得出束斑与束流的关系。最后通过调整电子枪参数,制备了不同的光刻图形,满足了不同的光刻工艺要求,验证了分析的结论。
- 郝晓亮赵英伟孙虎王秀海曹健马培圣任泽生
- 碳化硅外延生长室
- 本发明提供了一种碳化硅外延生长室，属于半导体领域，包括上室体及下室体，上室体具有上空腔，所述上室体内设有上支撑板；下室体固设于上室体的下方，下室体具有下空腔，下室体内设有下支撑板，上支撑板与下支撑板之间构成生长室，下支撑...
- 刘炳义秦天赵英伟路孟喜马培圣吴爱华王秀海郝晓亮文黎波
- 一种具有低反射吸收负载安装结构的波导噪声源
- 本发明提供一种具有低反射吸收负载安装结构的波导噪声源。该噪声源包括矩形波导、波导法兰、微调法兰、盲板法兰和吸收负载；波导法兰固定连接在矩形波导的输入端；微调法兰通过紧固件连接波导法兰；盲板法兰通过紧固件连接微调法兰；微调...
- 栾鹏刘晨王一帮王维霍晔马培圣孙晓颖陈晓华吴爱华
- 扁平式磁力开关座及磁吸启闭方法
- 本发明提供了一种扁平式磁力开关座及磁吸启闭方法，属于机械制造技术领域，包括：底座、隔离条、磁开关以及盖板，隔离条嵌设于底座上；磁开关设置于底座的腔体内，隔离条位于腔体内；磁开关包括旋转板和两块磁铁，旋转板上设有两个用于放...
- 马培圣王秀海赵英伟吴爱华栾鹏郝晓亮曹健文黎波贾宜萱
