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饶瑞
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上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室
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发文基金:
国家自然科学基金
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
石金川
上海交通大学微纳米科学技术研究...
侯捷
上海交通大学微纳米科学技术研究...
杨春生
上海交通大学微纳米科学技术研究...
张丛春
上海交通大学微纳米科学技术研究...
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石金川
供职机构:上海交通大学
研究主题:磁控溅射 介电性能 铁电薄膜 沉积温度 CU互连
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张丛春
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统技术 磁控溅射 双稳态 热电偶 高温
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侯捷
供职机构:上海交通大学
研究主题:射频磁控溅射 介电性能 结合力 阻挡层 子层
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所获资助
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杨春生
供职机构:上海交通大学
研究主题:电极 MEMS 微机电系统 压电 植入
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