侯捷
- 作品数:10 被引量:5H指数:1
- 供职机构:上海交通大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域:电子电信理学化学工程医药卫生更多>>
- 在硅通孔表面生长阻挡层与种子层的方法
- 一种半导体技术领域的一种在硅通孔表面生长阻挡层与种子层的方法,通过对具有硅通孔的基片依次进行Ti沉积和湿法氧化后得到具有阻挡层和种子层的硅通孔结构。本发明利用了TiO<Sub>2</Sub>良好的稳定性和导电性能,不易起...
- 张丛春侯捷严春平丁桂甫汪红杨春生
- Si衬底上RF磁控溅射MgO薄膜的研究被引量:1
- 2010年
- 采用射频磁控溅射(rf magnetron sputte-ring)在Si(100)衬底上生长得到MgO薄膜。将在不同气压和Ar分压条件下得到的样品在氧气氛围下1000℃退火并进行X射线衍射(XRD)分析,结果表明,溅射总气压和O2分压影响MgO薄膜的择优取向,控制总气压和Ar分压可以控制MgO薄膜的晶格取向,Si衬底取向也对薄膜的择优取向产生影响。通过扫描电子显微镜(SEM)分析发现,MgO薄膜经过高温退火形成结晶并产生了表面裂纹。
- 侯捷张丛春杨春生丁桂甫
- 关键词:射频磁控溅射MGOXRDSEM
- 基于BST的多层薄膜及其可调器件的研究
- 当代无线电技术与微电子技术朝着小型化、集成化方向发展。铁电材料因其具有介电性、压电性、热释电、铁电性等重要特性,越来越受到研究者的重视。BaxSr1-xTiO3具有高介电常数、较低的损耗等良好的性能,成为研究的热点之一。...
- 侯捷
- 关键词:介电性能
- 认知及眼动特征对足球运动员动作技术的影响:Meta分析的系统评价
- <正>研究目的:眼动是眼球从一个点注视到另一个点时发生的短暂、快速和突然的运动。视觉搜索是指个体在某一情境中利用已有的经验捕捉目标各方面信息的过程。近年来,众多体育工作者对各个项目运动员的视觉搜索模式与眼动特征进行研究,...
- 李文彦侯捷刘瑞瑞贾敏张美珍
- 文献传递
- 在硅通孔表面生长阻挡层与种子层的方法
- 一种半导体技术领域的在硅通孔表面生长阻挡层与种子层的方法,通过对具有硅通孔的基片依次进行Ti沉积和湿法氧化后得到具有阻挡层和种子层的硅通孔结构。本发明利用了TiO<Sub>2</Sub>良好的稳定性和导电性能,不易起化学...
- 张丛春侯捷严春平丁桂甫汪红杨春生
- 文献传递
- 基于氧化铝薄膜与聚合物联合作用的电热微驱动器
- 一种微机电系统技术领域的基于氧化铝薄膜与聚合物联合作用的电热微驱动器,包括:热基座、氧化铝结构层、镍电阻丝发热层和聚合物功能辅助层,其中:镍电阻丝发热层、氧化铝结构层和热基座依次由上而下设置,所述的氧化铝结构层为重叠部和...
- 张丛春王娟吴义伯侯捷钱群
- 文献传递
- LaNiO_3缓冲层对Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3薄膜微结构和介电性能的影响
- 2009年
- 利用射频磁控溅射法,在Pt/Ti/SiO2/Si和LaNiO3/Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜.采用X-ray衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM),研究了两种衬底上BST薄膜样品的结晶性和表面形貌.结果表明:BST薄膜材料均为钙钛矿相,直接生长在硅衬底上的BST薄膜无择优取向,晶粒尺寸为20-30 nm,而LaNiO3缓冲层上生长的BST薄膜则为(100)择优取向,晶粒尺寸约为150-200 nm.室温下测试了薄膜的介电性能.研究结果表明,LNO缓冲层显著提高了BST薄膜的介电常数和介电可调率.
- 石金川张丛春侯捷杨春生饶瑞
- 关键词:钛酸锶钡薄膜射频磁控溅射介电性能
- 冷轧电镀铬钢板及钢带
- 本标准规定了冷轧电镀铬钢板及钢带的分类和代号、牌号及标记、尺寸、外形、重量、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志及质量证明书。本标准适用于公称厚度为0.14mm~0.80 mm的一次冷轧电镀铬钢板及钢带以及公称厚度为...
- 朱岩 涂树林 胡聆 张宏侯捷 张维旭 唐牧 姚锦元 卢笙 林永增 朱大苏 方圆 李秀军 范纯
- 玻璃衬底上RF磁控溅射CIGS薄膜的研究被引量:4
- 2010年
- 采用射频磁控溅射的工艺,在玻璃衬底上制备得到了铜铟镓硒(CIGS)薄膜。讨论了衬底温度、溅射气压、退火与否对CIGS薄膜与衬底结合力、显微形貌、晶化程度及电阻率的影响。通过能谱(EDS)测试证明了溅射的CIGS薄膜Ga组分比符合高效吸收层的要求,通过X射线衍射(XRD)与扫描电子显微镜(SEM)测试,证明了衬底加热溅射、溅射后450℃空气退火可以有效提高CIGS薄膜与衬底的结合并提高晶化程度。通过四探针法电阻率测试证明了低气压条件下溅射、溅射后退火可以有效降低CIGS的电阻率,通过透射光谱分析证明了CIGS薄膜对可见光有高吸收效率,适合作为太阳电池的高效吸收层。
- 钱群张丛春杨春生丁桂甫侯捷
- 关键词:太阳电池射频磁控溅射
- 足部特征对与下肢损伤相关的运动生物力学参数的影响
- 刘瑞瑞李文彦侯捷张美珍