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钱群

作品数：4 被引量：8H指数：2
供职机构：上海交通大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信理学电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇专利

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇电气工程
  • 1篇理学

主题

  • 3篇电池
  • 3篇溅射
  • 2篇太阳能
  • 2篇太阳能电池
  • 2篇铜铟镓硒
  • 2篇CIGS
  • 2篇CIGS薄膜
  • 2篇磁控
  • 2篇磁控溅射
  • 1篇电学
  • 1篇电学性质
  • 1篇电阻率
  • 1篇多层膜
  • 1篇氧化铝薄膜
  • 1篇射频磁控
  • 1篇射频磁控溅射
  • 1篇太阳电池
  • 1篇热学性能
  • 1篇微机电系统
  • 1篇微机电系统技...

机构

  • 4篇上海交通大学

作者

  • 4篇钱群
  • 3篇张丛春
  • 2篇丁桂甫
  • 2篇杨春生
  • 2篇侯捷
  • 1篇吴义伯
  • 1篇王娟

传媒

  • 1篇微纳电子技术
  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 2篇2011
  • 2篇2010
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
CIGS薄膜太阳能电池的工艺研究与制造
太阳能电池作为发展最快的清洁能源，具有无噪声、无污染、不受地域的限制、利用成本低的特点。近几年来薄膜电池得到了高速发展，其中铜铟镓硒（CIGS）太阳能电池具有成本低、性能稳定、抗辐射能力强、高吸收效率和转化效率、吸收层材...
钱群
关键词：太阳能电池铜铟镓硒磁控溅射电学性质
CIGS太阳能电池中薄膜材料电阻率的研究被引量：2
2011年
研究了减小CIGS太阳能电池中Mo,CIGS,n-ZnO三层薄膜电阻率的溅射工艺方法,以达到减小电池串联电阻的目的。改变工艺参数制备不同样品并对其进行测试分析,得到了溅射气压、衬底温度、退火工艺对电阻率和薄膜微观形貌的影响。证明了采用双层溅射法制备的Mo、低气压、衬底加热、溅射后退火得到的CIGS以及3～5 Pa下制备的n-ZnO都有较好的薄膜质量和较低的电阻率。
钱群张丛春杨春生丁桂甫
关键词：太阳能电池CIGS溅射电阻率
基于氧化铝薄膜与聚合物联合作用的电热微驱动器
一种微机电系统技术领域的基于氧化铝薄膜与聚合物联合作用的电热微驱动器，包括：热基座、氧化铝结构层、镍电阻丝发热层和聚合物功能辅助层，其中：镍电阻丝发热层、氧化铝结构层和热基座依次由上而下设置，所述的氧化铝结构层为重叠部和...
张丛春王娟吴义伯侯捷钱群
文献传递
玻璃衬底上RF磁控溅射CIGS薄膜的研究被引量：4
2010年
采用射频磁控溅射的工艺,在玻璃衬底上制备得到了铜铟镓硒(CIGS)薄膜。讨论了衬底温度、溅射气压、退火与否对CIGS薄膜与衬底结合力、显微形貌、晶化程度及电阻率的影响。通过能谱(EDS)测试证明了溅射的CIGS薄膜Ga组分比符合高效吸收层的要求,通过X射线衍射(XRD)与扫描电子显微镜(SEM)测试,证明了衬底加热溅射、溅射后450℃空气退火可以有效提高CIGS薄膜与衬底的结合并提高晶化程度。通过四探针法电阻率测试证明了低气压条件下溅射、溅射后退火可以有效降低CIGS的电阻率,通过透射光谱分析证明了CIGS薄膜对可见光有高吸收效率,适合作为太阳电池的高效吸收层。
钱群张丛春杨春生丁桂甫侯捷
关键词：太阳电池射频磁控溅射
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