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于新晓
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6
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中国电子科技集团第二十六研究所
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电子电信
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电气工程
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合作作者
马晋毅
四川压电与声光技术研究所
周勇
四川压电与声光技术研究所
米佳
中国电子科技集团第二十六研究所
刘善群
中国电子科技集团第二十六研究所
李洪平
中国电子科技集团第二十六研究所
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米佳
供职机构:中国电子科技集团第二十六研究所
研究主题:声表面波器件 声表面波 声表面波滤波器 晶圆级封装 键合
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马晋毅
供职机构:中国电子科技集团第二十六研究所
研究主题:声表面波 薄膜体声波谐振器 声表面波滤波器 电极 体声波滤波器
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周勇
供职机构:中国电子科技集团第二十六研究所
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郑泽渔
供职机构:中国电子科技集团第二十六研究所
研究主题:压电薄膜 声体波 声表面波滤波器 声表面波器件 声表面波
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朱昌安
供职机构:中国电子科技集团第二十六研究所
研究主题:声体波 压电薄膜 卷积器 单片式 夹具
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汤劲松
供职机构:中国电子科技集团第二十六研究所
研究主题:液冷 压电振子 压电泵 肋条 排液阀
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李仁挥
供职机构:中国电子科技集团第二十六研究所
研究主题:压电薄膜 掩膜版 回波 微米 网络匹配
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李洪平
供职机构:中国电子科技集团第二十六研究所
研究主题:声表面波器件 换能器 压电薄膜 声速 声表面波滤波器
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刘善群
供职机构:中国电子科技集团第二十六研究所
研究主题:晶圆 化学腐蚀 压电 FBAR 薄膜应力
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张龙
供职机构:四川压电与声光技术研究所
研究主题:声表面波 SAW 相位补偿 色散延迟线 高频
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