刘善群
- 作品数：11 被引量：8H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团第二十六研究所更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术电气工程更多>>
- SAW陀螺新型接收电极
- 2011年
- 该文在理论上分析了声表面波(SAW)陀螺中两列相向传播SAW形成的驻波在哥氏力作用下的相位分布及传播规律,设计出一种新型的接收电极。此电极能将陀螺效应激发的表面波同种电荷积累到一起,改进了原有电极中同根电极上正负相互抵消的缺点,增强了由陀螺效应激发出SAW的接收效率,本结果可对SAW陀螺的设计提供相关参考。
- 杨增涛卜继军马晋毅肖凯陈小兵江洪敏杜波朱家友刘善群
- 关键词：电极驻波
- 微声薄膜耦合谐振滤波器的仿真与设计被引量：1
- 2012年
- 基于Mason模型,建立了微声薄膜耦合谐振滤波器的等效电路,实现了滤波器的快速仿真设计。将耦合谐振滤波器与梯形结构微声薄膜滤波器级联,改善了滤波器的矩形度、带外抑制等特性,并通过优化设计,提高了级联滤波器的相位线性度。
- 杜波刘善群马晋毅江洪敏杨靖徐阳
- 一种化学机械抛光液和一种具有空腔压电单晶复合衬底的制备方法
- 本发明涉及一种化学机械抛光液和一种具有空腔压电单晶复合衬底的制备方法，针对现有技术中对硅酸镓镧晶圆表面抛光处理无法满足室温键合工艺要求的问题，采用酸性的二氧化铈抛光液，能够做到表面损伤小，对硅酸镓镧晶体的化学腐蚀速率也更...
- 石自彬胡吉海唐景黎龙勇陈哲明刘善群丁雨憧
- 基于剥离工艺的晶圆材料表面形貌表征
- 2015年
- 压电晶圆表面形貌特征参数是影响光刻剥离工艺及器件批生产成品的关键技术基础。基于声表面波(SAW)器件剥离工艺,该文提出并量化了晶圆材料表面形貌表征参数体系:翘曲度(BOW)、平坦度(GBIR)、小区平坦度(SBIR)、小区平坦度合格率(PLTV)等,并给出了晶圆材料表面形貌表征参数的测试方法及对光刻工艺参数的影响。
- 刘善群喻卫兵赵雪梅陶玲陆川
- 关键词：表面形貌平坦度
- 高频声表面波器件用压电晶圆清洗技术研究
- 2013年
- 论述了低浓度碱性过氧化氢清洗液兆声清洗钽酸锂、铌酸锂和水晶等压电晶圆的工艺技术。在保持压电晶圆特性的前提下,该技术可有效去除晶圆表面小于0.2μm的附着颗粒,使其表面洁净度满足亚微米线宽高频声表面波(SAW)器件生产要求,同时降低了化学品、去离子水的消耗量及对环境的污染。
- 刘善群汤旭东喻卫兵陶玲伍平刘晓莉陆川赵雪梅
- 关键词：兆声清洗
- 一种压电单晶薄膜复合材料及其制备方法
- 本发明公开了一种压电单晶薄膜复合材料及其制备方法，压电单晶薄膜复合材料包括衬底基板层和压电单晶薄膜层，衬底基板层由尖晶石构成。尖晶石基板通过掺杂以调节尖晶石基板的频率温度系数使之能够补偿压电材料的频率温度系数。在衬底基板...
- 陈哲明丁雨憧马晋毅毛世平龙勇石自彬胡吉海刘善群邹少红
- FBAR用氮化铝压电薄膜研究被引量：4
- 2015年
- 介绍了FBAR用复合氮化铝(AlN)压电薄膜的制作方法。采用双S枪中频(40kHz)磁控反应性溅射铝靶制作出了AlN压电薄膜。采用双S枪直流(DC)磁控溅射钼(Mo)靶制作出了Mo电极薄膜。对AlN压电薄膜、Mo电极薄膜进行了X线衍射(XRD)分析,结果表明,AlN压电薄膜(002)面、Mo薄膜(110)面择优取向优良。对?4″Si基AlN压电薄膜进行了膜厚测试,结果表明,其膜厚均匀性优于±0.5%。对?4″Si基AlN压电薄膜、Mo薄膜进行了应力测试,结果表明,其应力分别在-100^+100 MPa及-150^+220 MPa;对?4″Si基Mo/AlN/Mo/AlN复合压电薄膜应力进行了应力测试,结果表明,其应力低达-71.518 5 MPa。对?4″Si基AlN压电薄膜进行了化学成分分析,结果表明,其Al∶N原子比为51.8∶48.2。
- 陈运祥董加和司美菊李洪平赵雪梅张永川于新晓刘善群
- 关键词：膜厚均匀性薄膜应力
- 晶圆探针测试系统校准
- 2013年
- 阐述了消除探针测试系统误差的方法,通过分析校准原理和计算校准模型,提出了把已知的校准位放在校准基片上,通过修改网络分析仪(VNA)的校准位和信号接收端口,利用探针台的移动和探针与校准位的接触提取和反馈信号,修正系统误差。
- 伍平董姝杜波冷俊林刘晓莉刘善群王岚
- 2.4GHz石英窄带低损耗声表面横波谐振滤波器被引量：2
- 2015年
- 该文描述了一种工作频率在S波段的低损耗极窄带声表面横波谐振滤波器,解决了整机系统在高频率S波段载波近端的杂波抑制。采用一阶温度系数为0的石英基片及比瑞利型声表面波波速高1.6倍的声表面横波,制作出3dB带宽大于1‰的低损耗窄带谐振滤波器,其工作频率达2.4GHz,损耗为5.77dB,3dB带宽为3.0 MHz,在50Ω测试系统中测试,偏离中心频率±7 MHz的阻带抑制为25dB;在-40^+85℃内,频率漂移仅为705kHz。
- 周卫刘善群陈峻邵静刘积学吴燕朱明赖彬喻卫兵许东辉田亚睿曾武伍平
- 关键词：谐振器滤波器
- 通过热应力分析改善AOTF键合层附着力
- 2017年
- 针对声光可调滤光器(AOTF)压电换能器和声光晶体键合后出现附着力差的问题开展分析,根据热应力理论计算AOTF键合层各层的热应力分布情况,提出通过增加过渡层改善键合层应力特性。当过渡层Au膜厚为200nm时,理论上键合层和声光晶体间的热应力减小到-0.613 MPa,能够保证膜层的附着强度。测试结果显示,添加过渡层后频率响应的3dB带宽增加,衍射效率提高了2%~4%。
- 陆川鲜晓军张银中陈华志杨华刘伟张永川刘善群
- 关键词：声光晶体热应力
