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文献类型

  • 15篇期刊文章
  • 8篇专利
  • 2篇会议论文

领域

  • 15篇电子电信
  • 2篇一般工业技术

主题

  • 17篇声表面波
  • 8篇声表面波器件
  • 6篇滤波器
  • 5篇烧伤
  • 5篇晶圆
  • 5篇静电
  • 4篇导电
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  • 4篇SAW
  • 3篇低损耗
  • 3篇芯片
  • 2篇调频
  • 2篇钝化层
  • 2篇压电
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  • 2篇声速
  • 2篇声体波
  • 2篇损耗
  • 2篇温度

机构

  • 25篇中国电子科技...
  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 25篇伍平
  • 15篇赵雪梅
  • 10篇米佳
  • 10篇董加和
  • 7篇陈峻
  • 6篇冷俊林
  • 6篇董姝
  • 6篇陈彦光
  • 4篇陈运祥
  • 4篇刘晓莉
  • 4篇杨正兵
  • 3篇朱勇
  • 3篇黎亮
  • 3篇蒋欣
  • 3篇张静雯
  • 3篇汤旭东
  • 3篇刘善群
  • 2篇曾武
  • 2篇谭学斌
  • 2篇刘光聪

传媒

  • 15篇压电与声光
  • 1篇2008促进...

年份

  • 1篇2023
  • 2篇2022
  • 2篇2021
  • 3篇2020
  • 2篇2019
  • 1篇2018
  • 3篇2016
  • 3篇2015
  • 1篇2014
  • 4篇2013
  • 1篇2011
  • 2篇2008
25 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
基于一种改进型DMS结构的极窄带SAW滤波器
2022年
该文采用一种改进型双模声表面波(DMS)结构来设计1.5 GHz的极窄带声表面波(SAW)滤波器。DMS结构两端的反射器采用分布式多周期加权结构能够消除在声通道上传播的多种声反射模式。为灵活设计滤波器阻带抑制及带宽指标,在DMS结构的两个叉指换能器(IDT)之间加入反射器。结果表明,研制的极窄带SAW滤波器中心频率为1.5 GHz,实测带宽为878.75 kHz,插入损耗为5.8 dB,阻带抑制达到45 dB。
赵雪梅郑泽渔董加和伍平陈彦光陈正林
关键词:相对带宽
一种防止声表面波器件在温度试验中静电烧伤的方法
本发明公开了一种防止声表面波器件在温度试验中静电烧伤的方法,先将声表面波器件放入导电容器中,然后加入导电介质以将声表面波器件完全填埋,再盖上导电容器盖,最后将导电容器放入温度试验装置,使声表面波器件在整个温度试验过程中有...
赵雪梅刘光聪董加和周毅夏艳鄢秋娟张静雯蒋欣冷俊林伍平
文献传递
钝化层对声表面波滤波器的影响被引量:2
2021年
为了研究钝化层对声表面波(SAW)滤波器性能的影响,以二氧化硅(SiO_(2))薄膜为钝化层,对厚度为12~80 nm的SiO_(2)膜钝化层工艺数据进行分析。结果表明,当SiO_(2)膜钝化层覆膜厚度大于25 nm时其膜层质量均匀性好,致密度高。同时SiO_(2)膜钝化层厚度对膜层间的粘性、传播损耗、自身的质量负载及谐振峰处的频率均有影响,且会引起过渡带宽发生变化。
赵雪梅伍平董加和米佳黎亮陈峻陈正林
关键词:钝化层
一种防止声表面波器件在氟油检漏试验中静电烧伤的方法
本发明公开了一种防止声表面波器件在氟油检漏试验中静电烧伤的方法,声表面波器件放入氟油检漏试验装置前,预先准备一个金属导电容器,然后向金属导电容器中加入导电介质,接着将声表面波器件平放在导电介质上,使声表面波器件的输入电极...
赵雪梅董加和朱勇伍平米佳董姝陈峻尹波陈彦光赵覃
文献传递
一种设置有SiO<Sub>2</Sub>钝化层的RF滤波器
本发明涉及声表面波技术领域,特别涉及一种设置有SiO<Sub>2</Sub>钝化层的RF滤波器,RF滤波器的钝化层为25‑80nm的SiO<Sub>2</Sub>,对涂覆SiO<Sub>2</Sub>的RF滤波器进行调频...
伍平沙小强米佳谭发增赵雪梅
文献传递
一种基于声表面波的离子束调频方法
本发明涉及声表面波技术领域,特别涉及一种基于声表面波的离子束调频方法,包括:利用探针对声表器件频率分布进行采集,利用转换软件把实际晶圆芯片位置和原始频率与设备进行匹配;获取芯片需要调整的频率,根据芯片的基底材料、表面氧化...
伍平陈峻赵雪梅米佳黎亮
文献传递
晶圆级声表面波器件低损耗结构测试夹具
本实用新型公开了一种晶圆级声表面波器件低损耗结构测试夹具,包括固定块和GSG探针组,在固定块下方设有一信号引出电路板,在信号引出电路板上设有一DC探针组,两DC测试探针分别通过一安装架固定于测试电路板上,在安装架上设有微...
伍平米佳赵雪梅
文献传递
高频声表面横波谐振器研制被引量:2
2013年
声表面横波具有比瑞利波高1.6倍的波速,声表面横波谐振器具有一阶温度系数(TFC)为0,工作频率高,损耗小,耐功率能力强及振动灵敏度低等特点。该文叙述了声表面横波工作原理,研制出了频率达到1 439MHz、1 989MHz、2 491MHz的声表面横波谐振器。
周卫杨正兵曾武付金桥汤旭东朱明陈峻伍平邵静
关键词:谐振器损耗
高频声表面波器件用压电晶圆清洗技术研究
2013年
论述了低浓度碱性过氧化氢清洗液兆声清洗钽酸锂、铌酸锂和水晶等压电晶圆的工艺技术。在保持压电晶圆特性的前提下,该技术可有效去除晶圆表面小于0.2μm的附着颗粒,使其表面洁净度满足亚微米线宽高频声表面波(SAW)器件生产要求,同时降低了化学品、去离子水的消耗量及对环境的污染。
刘善群汤旭东喻卫兵陶玲伍平刘晓莉陆川赵雪梅
关键词:兆声清洗
改进型3IDT-LCR结构的低损耗小矩形系数SAW滤波器
2023年
通过理论仿真,该文研制了一种改进型的3IDT-LCR结构,并基于该结构在42°Y-X LiTaO_(3)压电基片上研制出一种低损耗、小矩形系数的SAW滤波器。滤波器标称频率为253.75 MHz,实测插入损耗1.05 dB,低端带外抑制接近80 dB,高端带外抑制接近65 dB,-1 dB带宽10.52 MHz,-3 dB带宽12.54 MHz,-40 dB带宽16.68 MHz,矩形系数1.33。实测结果表明,该改进型3IDT-LCR结构的SAW滤波器具备低插入损耗、小矩形系数和高带外抑制的特点。
陈华志罗文汀马晋毅陈彦光伍平董加和
关键词:声表面波滤波器
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