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文献类型

  • 7篇专利
  • 5篇期刊文章

领域

  • 5篇电子电信

主题

  • 5篇声表面波
  • 5篇滤波器
  • 4篇谐振滤波器
  • 4篇横波
  • 3篇带外抑制
  • 3篇贴装
  • 3篇谐振器
  • 3篇高频
  • 3篇表面贴装
  • 2篇导电
  • 2篇低损耗
  • 2篇调频
  • 2篇压电石英
  • 2篇烧伤
  • 2篇声表面波器件
  • 2篇离子束
  • 2篇静电
  • 2篇氟油
  • 2篇叉指换能器
  • 1篇点焊

机构

  • 12篇中国电子科技...

作者

  • 12篇陈峻
  • 7篇曾武
  • 7篇朱明
  • 7篇伍平
  • 6篇周卫
  • 6篇黎亮
  • 5篇米佳
  • 5篇赵雪梅
  • 4篇田亚睿
  • 4篇许东辉
  • 3篇董姝
  • 3篇付金桥
  • 3篇董加和
  • 3篇马晋毅
  • 3篇冉川云
  • 3篇欧阳锋
  • 3篇杨正兵
  • 2篇朱勇
  • 2篇刘积学
  • 2篇尹波

传媒

  • 5篇压电与声光

年份

  • 1篇2021
  • 2篇2019
  • 2篇2018
  • 2篇2016
  • 2篇2015
  • 2篇2013
  • 1篇2012
12 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
一种防止声表面波器件在氟油检漏试验中静电烧伤的方法
本发明公开了一种防止声表面波器件在氟油检漏试验中静电烧伤的方法,声表面波器件放入氟油检漏试验装置前,预先准备一个金属导电容器,然后向金属导电容器中加入导电介质,接着将声表面波器件平放在导电介质上,使声表面波器件的输入电极...
赵雪梅董加和朱勇伍平米佳董姝陈峻尹波陈彦光赵覃
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一种基于声表面波的离子束调频方法
本发明涉及声表面波技术领域,特别涉及一种基于声表面波的离子束调频方法,包括:利用探针对声表器件频率分布进行采集,利用转换软件把实际晶圆芯片位置和原始频率与设备进行匹配;获取芯片需要调整的频率,根据芯片的基底材料、表面氧化...
伍平陈峻赵雪梅米佳黎亮
文献传递
高带外抑制高频表面贴装声表面横波谐振滤波器
本发明公开了一种高带外抑制高频表面贴装声表面横波谐振滤波器,包括封装在外壳内的芯片,所述芯片上设有谐振滤波器,所述谐振滤波器为两个,分别为第一级谐振滤波器和第二级谐振滤波器,两谐振滤波器共用一块压电石英基片,第一级谐振滤...
周卫朱明田亚睿陈峻曾武刘积学马晋毅许东辉冉川云欧阳锋黎亮
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声表面波器件制作中的一种剥离技术被引量:2
2012年
介绍了一种适用于LiTaO3、LiNbO3基片的金属剥离工艺技术。该剥离技术利用碱性溶剂浸泡处理光刻胶,光刻胶顶层形成一层有利于剥离的突出遮蔽层。利用该技术可制作线宽小于0.5μm的SAW芯片。该技术无需额外设备,工艺稳定且成本低。
杨正兵冷俊林曾武刘晓莉朱明陈峻
关键词:声表面波表面处理
钝化层对声表面波滤波器的影响被引量:2
2021年
为了研究钝化层对声表面波(SAW)滤波器性能的影响,以二氧化硅(SiO_(2))薄膜为钝化层,对厚度为12~80 nm的SiO_(2)膜钝化层工艺数据进行分析。结果表明,当SiO_(2)膜钝化层覆膜厚度大于25 nm时其膜层质量均匀性好,致密度高。同时SiO_(2)膜钝化层厚度对膜层间的粘性、传播损耗、自身的质量负载及谐振峰处的频率均有影响,且会引起过渡带宽发生变化。
赵雪梅伍平董加和米佳黎亮陈峻陈正林
关键词:钝化层
压电石英基片高频率声表面横波谐振器
压电石英基片高频率声表面横波谐振器,包括压电石英基片,该压电石英基片上表面安装有四个相同金属膜厚度的电极、两组反射器、两组叉指换能器和一个中间短路栅,在所述电极的上表面上附着一层加厚的金属电极膜,金属电极膜的厚度大于该电...
周卫曾武杨正兵朱明陈峻周琴珍
文献传递
高频声表面横波谐振器研制被引量:2
2013年
声表面横波具有比瑞利波高1.6倍的波速,声表面横波谐振器具有一阶温度系数(TFC)为0,工作频率高,损耗小,耐功率能力强及振动灵敏度低等特点。该文叙述了声表面横波工作原理,研制出了频率达到1 439MHz、1 989MHz、2 491MHz的声表面横波谐振器。
周卫杨正兵曾武付金桥汤旭东朱明陈峻伍平邵静
关键词:谐振器损耗
高带外抑制高频表面贴装声表面横波谐振滤波器
本发明公开了一种高带外抑制高频表面贴装声表面横波谐振滤波器,包括封装在表面贴装外壳内的芯片,所述芯片上设有声表面横波谐振滤波器,所述声表面横波谐振滤波器至少为两组,所有声表面横波谐振滤波器首尾连接。每组声表面横波谐振滤波...
周卫朱明田亚睿曾武付金桥马晋毅陈峻许东辉冉川云欧阳锋黎亮
文献传递
2.4GHz石英窄带低损耗声表面横波谐振滤波器被引量:2
2015年
该文描述了一种工作频率在S波段的低损耗极窄带声表面横波谐振滤波器,解决了整机系统在高频率S波段载波近端的杂波抑制。采用一阶温度系数为0的石英基片及比瑞利型声表面波波速高1.6倍的声表面横波,制作出3dB带宽大于1‰的低损耗窄带谐振滤波器,其工作频率达2.4GHz,损耗为5.77dB,3dB带宽为3.0 MHz,在50Ω测试系统中测试,偏离中心频率±7 MHz的阻带抑制为25dB;在-40^+85℃内,频率漂移仅为705kHz。
周卫刘善群陈峻邵静刘积学吴燕朱明赖彬喻卫兵许东辉田亚睿曾武伍平
关键词:谐振器滤波器
传统SAW离子束调频技术研究
2019年
制作传统声表面波(SAW)器件晶圆芯片表面的材料是Al,Al在空气中被氧化,极易生成致密的氧化铝(Al2O3)薄膜,由于Al2O3薄膜和Al及基底压电材料的刻蚀速率存在差异,会导致SAW的离子束调频过程复杂。该文介绍了一种用于SAW的离子束调频方法,采用该方法对制作的SAW器件进行离子束调频后,实现了目标频率的调高和调低,并进一步提高了频率集中度,从而解决了低频窄带SAW器件及2 GHz以上SAW高频器件频率精度难以提高的工艺难题。
伍平陈峻米佳董家和赵雪梅刘晓莉董姝黎亮
关键词:离子束刻蚀速率
共2页<12>
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