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官承秋
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中国工程物理研究院电子工程研究所
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中国工程物理研究院科技发展基金
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机械工程
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合作作者
高杨
中国工程物理研究院电子工程研究...
代富
西南科技大学信息工程学院
刘显学
中国工程物理研究院电子工程研究...
秦燃
西南科技大学信息工程学院
周浩
中国工程物理研究院电子工程研究...
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高杨
供职机构:重庆大学
研究主题:微电子机械系统 薄膜体声波谐振器 体声波 MEMS FBAR
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刘显学
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:极板 加速度计 石英 微机械陀螺 微加速度计
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代富
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:MEMS 流量传感器 微电子机械系统 微机械陀螺 传感器设计
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秦燃
供职机构:西南科技大学信息工程学院
研究主题:射频微电子机械系统 并联开关 开关 驱动电压 电容式
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周浩
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:微机械陀螺 加速度计 解耦 微机械 差分电容
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唐海林
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:微机械陀螺 测试装置 信号接口 锚点 电源接口
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何移
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:薄膜体声波谐振器 FBAR 流量传感器 微电子机械系统 有限元分析
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周斌
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:薄膜体声波谐振器 FBAR 流量传感器 微电子机械系统 有限元分析
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贾小慧
供职机构:西南科技大学信息工程学院
研究主题:微电子机械系统 RF_MEMS 移相器 射频微电子机械系统 MEMS
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张珂
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:健身目的 心率 计步器 跑步运动 生物电
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