代富
- 作品数：9 被引量：12H指数：3
- 供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
- 发文基金：教育部重点实验室开放基金中国工程物理研究院科技发展基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程冶金工程电气工程更多>>
- 热温差型微流量传感器热敏电阻自热的补偿方法被引量：3
- 2013年
- 分析了热温差型微流量传感器的热敏电阻自热对测量的影响和惠斯通电桥作为前端信号采集电路的不足,提出了相应的解决方法。利用ANSYS软件对热敏电阻自热的各种情况进行了仿真,发现当上下游热敏电阻的功率越接近且值越小时,传感器的输出信号越稳定。从仿真的结论和惠斯通电桥的不足出发,提出了以恒流电路作为信号检测前端电路的方法,不但可以基本消除传感器热敏电阻自热所造成的测量误差,而且改善了由于电源不稳定给传感器测量造成的影响。分析表明,当流速为1m/s、流道高度为150μm时,传感器的测量误差降低了1%左右。
- 代富高杨官承秋周斌何移
- 关键词：微电子机械系统流量传感器惠斯通电桥
- 高性能MEMS热膜式气体流量传感器设计
- 流量传感器是一种使用十分广泛的流量检测前端器件，随着智能化的普及，工业、农业等众多领域对用来完成流量智能控制的流量传感器要求越来越高。而以热传递为基本理论的热温差型流量传感器由于其所具有的优越性能，已成为研究的热点。本课...
- 代富
- 关键词：MEMS工艺流量传感器外围电路
- 文献传递
- 手持式微机械陀螺测试仪
- 本发明提供了一种手持式微机械陀螺测试仪，所述的由显示面板、调节旋钮、处理器、ADC芯片、供电模块、串口、总线接口构成的主机；由芯片插座、驱动检测电路、管脚配置电路、总线接口构成的测试电路板和由电力线、驱动检测电路控制线、...
- 高杨官承秋刘显学唐海林周浩代富
- 文献传递
- 手持式微机械陀螺扫频测试仪的实现
- 2012年
- 传统微机械陀螺的扫频测试一般采用价格昂贵的通用测试仪,其存在测试成本高、效率低等缺点。设计了一种基于现场可编程门阵列(FPGA)的手持扫频测试仪,能够自动进行扫频测试并求取被测微机械陀螺的谐振频率与品质因数,通过手动调节直流偏置电压大小的方式进行直流扫频测试,在自身的显示屏上绘制相关特性曲线。采用直接数字合成技术产生交流驱动信号,利用最小二乘拟合算法快速定位谐振频率点的大致位置,可以缩短测试时间、提高测试效率。应用测试表明,手持式微机械陀螺扫频测试仪能够快速、准确地完成微机械陀螺扫频测试,测试结果与传统测试方式吻合很好。
- 官承秋高杨刘显学代富
- 关键词：微机械陀螺扫频测试
- 手持式微机械陀螺测试仪
- 本发明提供了一种手持式微机械陀螺测试仪，所述的由显示面板、调节旋钮、处理器、ADC芯片、供电模块、串口、总线接口构成的主机；由芯片插座、驱动检测电路、管脚配置电路、总线接口构成的测试电路板和由电力线、驱动检测电路控制线、...
- 高杨官承秋刘显学唐海林周浩代富
- 文献传递
- MEMS气体流量传感器的简易流量测试装置被引量：4
- 2014年
- 为了完成所研制的MEMS气体流量传感器样品的流量测试与标定,设计制作了一种由标准流量发生器和传感器信号读出与数据采集电路组成的简易流量测试装置。标准流量发生器由注射器和可更换的砝码组成,利用不同的砝码配重,在注射器出气口产生合适的恒定气体流速。通过理论分析和Ansys有限元数值仿真,验证了简易标准流量发生器的可行性。传感器信号读出与数据采集电路基于内建多路A/D转换器的单片机实现,具有传感器加热电阻器的恒温控制、流量信号的数字检测和显示的功能。采用该简易流量测试装置对自行研制的MEMS气体流量传感器进行了流量测试与标定,获得了待测器件的标定参数、传感器流量测量的绝对误差和相对误差。
- 高杨代富席仕伟刘婷婷
- 关键词：微机电系统气体流量传感器有限元分析
- MEMS气体流量传感器的简易流量测试装置
- 为了完成所研制的MEMS气体流量传感器样品的流量测试与标定,设计、制作了一种由标准流量发生器和传感器检测电路与数据采集模块组成的简易流量测试装置.标准流量发生器由注射器和可更换的砝码组成,利用不同的砝码配重,在注射器出气...
- 高杨代富席仕伟刘婷婷
- 关键词：气体流量传感器微电子机械系统有限元分析
- 文献传递
- 热温差型微流量传感器的温度补偿方法研究被引量：1
- 2013年
- 热温差型微流量传感器的性能受多个因素的影响,如环境温度的变化、供电电源的波动、加热电阻的冷却和导线电阻的引入等。通过ANSYS软件对环境温度及加热电阻温度的改变进行了有限元仿真,发现当两者的温度差值为恒定值时,传感器的输出信号偏差较小。从环境温度与加热电阻温度差值恒定的思路出发,结合目前补偿方法存在的不足——导线引入误差、环境温度检测电阻的自热效应使其检测出错误的环境温度、加热电阻受被测流体冷却后使测量发生偏差以及供电电源波动的影响等,提出了一种可行的补偿方案,包括对前端信号采集电路的优化和后续单片机电路的设计,使影响流量传感器测量性能的诸多因素被削弱,且控制也更灵活。通过分析验证,在相同测试条件下,所提出的方法比常用补偿方法的测试精度高出约1.2%,误差为0.2%。
- 代富高杨官承秋周斌何移
- 关键词：流量传感器加热电阻温差
- 电阻悬浮的MEMS热膜式气体流量传感器设计被引量：6
- 2012年
- 设计了一种新型电阻悬浮结构的热膜式气体流量传感器,具有测量精度高、灵敏度好、抗压能力强、微加工工艺简单等特点。采用ANSYS软件对传感器芯片在不同流速下的温度场进行了有限元仿真,得出了上下游温差与流速的关系曲线。通过比较热膜电阻非悬浮与悬浮时的导热损失和压力分布,得到了将热膜电阻悬浮的流量传感器的性能要优于一般传感器的结论,其灵敏度为一般传感器的3.6倍。分析表明,传感器的响应时间仅为0.17 ms,比一般传感器快了好几倍;流速在0～0.5 m/s和0.5～2.5 m/s时,传感器输出信号都有较好的线性度,使其能够应用于小流量和大流量的测量当中;流道高度为150μm时,流量为0～2.7 L/h。根据工艺条件和仿真结果,确定了传感器芯片的结构尺寸和微加工工艺流程。
- 代富高杨官承秋周斌何移
- 关键词：流量传感器微加工
