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何移

作品数:19 被引量:27H指数:4
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
发文基金:教育部重点实验室开放基金中国工程物理研究院科技发展基金光电技术及系统教育部重点实验室访问学者基金更多>>
相关领域:电子电信自动化与计算机技术机械工程文化科学更多>>

文献类型

  • 14篇期刊文章
  • 5篇专利

领域

  • 7篇电子电信
  • 7篇自动化与计算...
  • 2篇机械工程
  • 1篇文化科学

主题

  • 9篇体声波
  • 9篇体声波谐振器
  • 9篇谐振器
  • 9篇薄膜体声波谐...
  • 6篇FBAR
  • 4篇感器
  • 4篇传感
  • 4篇传感器
  • 3篇有限元
  • 3篇有限元分析
  • 3篇漂移
  • 3篇微电子
  • 3篇微电子机械
  • 3篇微电子机械系...
  • 3篇温度补偿
  • 3篇流量传感器
  • 3篇滤波器
  • 2篇调功
  • 2篇压电
  • 2篇压电层

机构

  • 17篇中国工程物理...
  • 12篇西南科技大学
  • 6篇重庆大学
  • 3篇成都东软学院
  • 1篇中国科学院微...

作者

  • 19篇何移
  • 17篇高杨
  • 16篇周斌
  • 13篇何婉婧
  • 12篇李君儒
  • 4篇黄振华
  • 3篇代富
  • 3篇官承秋
  • 1篇高建辉
  • 1篇徐媛

传媒

  • 4篇压电与声光
  • 3篇微纳电子技术
  • 2篇测控技术
  • 2篇产业与科技论...
  • 1篇强激光与粒子...
  • 1篇半导体光电
  • 1篇太赫兹科学与...

年份

  • 2篇2017
  • 2篇2016
  • 2篇2015
  • 8篇2014
  • 4篇2013
  • 1篇2012
19 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
基于Online Judge的算法与编程实训平台建设被引量:3
2016年
传统的算法与编程训练采用人工的方法对学生编写的程序进行数据测试,其效率低、形式单一,降低了学生学习的积极性,也不能满足新形势对IT人才培养的需求。本文介绍了基于Online Judge的算法与编程实训平台,包括平台的题目训练、实时监控、竞赛开展、论坛交流以及平台在算法和编程实训中发挥的重要作用。
何移
关键词:实训平台ONLINEJUDGE
薄膜体声波谐振器的电磁兼容性分析被引量:4
2015年
随着薄膜体声波谐振器(FBAR)工作频率及FBAR器件集成度的不断提高,FBAR器件的电磁干扰问题显得尤为突出。常用电学模型和有限元模型都假定FBAR中的电磁场为无源准静态场,无法仿真模型的相关电磁特性。使用HFSS高频电磁仿真软件建立了FBAR的三维电磁仿真模型,采用一个包含声场特性的等效介电常数,实现了FBAR电磁场分布、电磁场耦合与压电效应的一体化仿真。分析了高频电磁场分布及电磁场耦合对谐振特性的影响,通过优化FBAR与临近元件的间距及采用不同介电常数的基板材料,减小了电磁场耦合的干扰。
高杨周斌何移何婉婧李君儒
关键词:薄膜体声波谐振器电磁兼容等效介电常数
一种镂空空腔型薄膜体声波谐振器及其制作方法
本发明涉及一种镂空空腔型薄膜体声波谐振器及其制作方法,该声波谐振器包括硅衬底、牺牲层和压电薄膜换能器堆叠结构,压电薄膜换能器堆叠结构从下往上依次包括支撑层、底电极、压电层、顶电极;压电薄膜换能器堆叠结构被释放窗口阵列贯穿...
高杨何移周斌何婉婧李君儒蔡洵黄振华
文献传递
热温差型微流量传感器的温度补偿方法研究被引量:1
2013年
热温差型微流量传感器的性能受多个因素的影响,如环境温度的变化、供电电源的波动、加热电阻的冷却和导线电阻的引入等。通过ANSYS软件对环境温度及加热电阻温度的改变进行了有限元仿真,发现当两者的温度差值为恒定值时,传感器的输出信号偏差较小。从环境温度与加热电阻温度差值恒定的思路出发,结合目前补偿方法存在的不足——导线引入误差、环境温度检测电阻的自热效应使其检测出错误的环境温度、加热电阻受被测流体冷却后使测量发生偏差以及供电电源波动的影响等,提出了一种可行的补偿方案,包括对前端信号采集电路的优化和后续单片机电路的设计,使影响流量传感器测量性能的诸多因素被削弱,且控制也更灵活。通过分析验证,在相同测试条件下,所提出的方法比常用补偿方法的测试精度高出约1.2%,误差为0.2%。
代富高杨官承秋周斌何移
关键词:流量传感器加热电阻温差
空腔型FBAR功率容量的影响因素分析与优化被引量:1
2014年
机械应力和自热效应是影响空腔型薄膜体声波谐振器(FBAR)功率容量的主要因素。采用ANSYS对声波纵向振荡产生的机械应力进行了结构仿真,发现应力主要集中在空气腔结构附近;对压电薄膜逆压电效应功率损耗产生的自热效应进行了热仿真,发现空气腔和支撑层阻碍了热量向衬底传导。提出了提高器件功率容量的优化设计:为了减小应力集中,可以减小空气腔的深度以限制声波振荡产生的纵向位移;为了提高散热能力,可以将空气腔的深度减小并选取导热系数大的支撑层。优化设计的仿真验证结果表明:空气腔附近的应力集中面积明显减小,最大应力值由16.6 GPa下降到12.8 GPa;同样施加6 mW的功率,器件内部最高温度由113°C下降到56°C;优化设计的空腔型FBAR,功率容量得到了显著提高。
何移高杨周斌李君儒何婉婧
关键词:薄膜体声波谐振器功率容量自热效应有限元分析
热温差型微流量传感器热敏电阻自热的补偿方法被引量:3
2013年
分析了热温差型微流量传感器的热敏电阻自热对测量的影响和惠斯通电桥作为前端信号采集电路的不足,提出了相应的解决方法。利用ANSYS软件对热敏电阻自热的各种情况进行了仿真,发现当上下游热敏电阻的功率越接近且值越小时,传感器的输出信号越稳定。从仿真的结论和惠斯通电桥的不足出发,提出了以恒流电路作为信号检测前端电路的方法,不但可以基本消除传感器热敏电阻自热所造成的测量误差,而且改善了由于电源不稳定给传感器测量造成的影响。分析表明,当流速为1m/s、流道高度为150μm时,传感器的测量误差降低了1%左右。
代富高杨官承秋周斌何移
关键词:微电子机械系统流量传感器惠斯通电桥
一种镂空空腔型薄膜体声波谐振器及其制作方法
本发明涉及一种镂空空腔型薄膜体声波谐振器及其制作方法,该声波谐振器包括硅衬底、牺牲层和压电薄膜换能器堆叠结构,压电薄膜换能器堆叠结构从下往上依次包括支撑层、底电极、压电层、顶电极;压电薄膜换能器堆叠结构被释放窗口阵列贯穿...
高杨何移周斌何婉婧李君儒蔡洵黄振华
文献传递
基于微加速度计的虚拟呼啦圈被引量:1
2014年
传统呼啦圈为实体产品,体积大,不易随身携带,使用不当有可能损害身体健康。设计了一种基于微加速度计的新型虚拟呼啦圈,能够将腰部的扭动转化为同步的LED点阵屏转动,采用带有微加速度计的信号检测模块对腰部扭动的加速度数据进行采集和预处理,处理后的数据通过射频通信方式发送给显示模块,显示模块显示相关的运动参数以及与腰部扭动同步的LED点阵屏转动,以实现一种虚拟转呼啦圈的效果。该虚拟呼啦圈具有体积小、无损健康等特点,能达到与传统呼啦圈类似的运动目的。
高杨周斌何移李君儒何婉婧
关键词:微加速度计呼啦圈射频通信数码显示
具有二氧化硅温度补偿层的薄膜体声波谐振器的建模与分析(英文)被引量:3
2015年
薄膜体声波谐振器(FBAR)的谐振频率会受到外界环境温度的影响而产生漂移,对于FBAR滤波器而言,这种温度-频率漂移特性会导致其中心频率、插入损耗、带内纹波等性能发生变化,降低其在电学应用中的可靠性。应用ANSYS有限元分析软件,对一个典型Mo-AlN-Mo三层结构的FBAR进行了温度-频率漂移特性的仿真,得到其在[-50℃,150℃]温度范围内的频率温度系数(TCF)约为-35×10-6/℃。在FBAR叠层薄膜结构中添加了一层具有正温度系数的二氧化硅温度补偿层,分析了该补偿层厚度对FBAR的温度-频率漂移特性、谐振频率和机电耦合特性的影响。设计了具有一层二氧化硅温度补偿层的FBAR叠层,由Mo/AlN/SiO2/Mo多层薄膜构成,仿真得到其频率温度系数为0.872×10-6/℃;与没有温度补偿层的FBAR相比,温度稳定性得以显著改善。
高杨周斌何移何婉婧
关键词:射频微电子机械系统薄膜体声波谐振器频率漂移温度系数有限元分析
窄带FBAR带通滤波器设计被引量:6
2013年
由薄膜体声波谐振器构成的滤波器,其带宽受压电材料机电耦合系数的影响,较难实现窄带滤波器设计。使用ADS射频仿真软件设计了一种通带为1.18~1.20 GHz的窄带薄膜体声波滤波器,分别通过比较增加无源电容元件、改变串并联谐振器面积比、在压电振荡堆内增加一层非压电层和采用两个中心频率不同的薄膜体声波滤波器串联这四种方法,得出窄带薄膜体声波滤波器的优化设计方案。设计得到的滤波器突破了压电材料本身机电耦合系数限定的带宽值,实现了窄带要求,并且带外抑制以及带内插损等设计指标均满足要求。
周斌高杨何移李君儒何婉婧
关键词:窄带滤波器机电耦合系数
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