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陈邦明

作品数：22 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 6个电子电信
  • 4个化学工程
  • 4个自动化与计算...
  • 4个文化科学
  • 3个金属学及工艺
  • 2个电气工程
  • 2个一般工业技术
  • 2个理学
  • 1个天文地球
  • 1个建筑科学
  • 1个交通运输工程

主题

  • 7个淀积层
  • 7个叠层
  • 7个短沟道
  • 7个短沟道效应
  • 7个堆叠
  • 5个单次
  • 5个单晶
  • 5个单晶结构
  • 5个导电
  • 5个导体
  • 5个电极
  • 5个电子束光刻
  • 5个断开
  • 4个氮化
  • 4个氮化硅
  • 4个导电材料
  • 4个电路
  • 4个电子束
  • 4个电子束曝光
  • 4个电子束直写

机构

  • 7个中国科学院微...
  • 1个清华大学

资助

  • 5个国家科技重大...
  • 1个北京市自然科...
  • 1个国家重点基础...
  • 1个国家自然科学...
  • 1个中国科学院“...

传媒

  • 4个微纳电子技术
  • 2个半导体技术
  • 2个微电子学
  • 1个电子科技
  • 1个低温物理学报
  • 1个内蒙古师范大...
  • 1个稀有金属
  • 1个光通信研究
  • 1个中国科技成果
  • 1个东北石油大学...
  • 1个微纳电子与智...
  • 1个2013‘全...

地区

  • 7个北京市
共 7 条 记 录，以下是 1-7
唐波
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 衬底 介质层 波导
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
许静
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 隧道结 磁矩 沟道
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
闫江
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 掩模 栅极 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐兆云
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 空腔 集成度 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王红丽
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 集成度 刻蚀 埋氧层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李春龙
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 刻蚀 掩模 粗糙度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨萌萌
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 集成度 衬底 半导体材料 浮体效应
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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