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罗湘

作品数:1 被引量:0H指数:0
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主题

  • 3个氧化层
  • 3个热氧化
  • 3个牺牲
  • 3个击穿
  • 3个沟槽式
  • 3个硅衬底
  • 3个槽式
  • 3个衬底
  • 2个电阻
  • 1个电阻值
  • 1个多晶
  • 1个多晶硅
  • 1个退火
  • 1个浅结
  • 1个重复利用
  • 1个阻值
  • 1个洗涤
  • 1个离子
  • 1个离子注入
  • 1个刻蚀

机构

  • 3个株洲南车时代...

地区

  • 3个湖南省
3 条 记 录,以下是 1-3
杜龙欢
供职机构:株洲南车时代电气股份有限公司
研究主题:氧化层 硅衬底 沟槽式 击穿 牺牲
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孙小虎
供职机构:株洲南车时代电气股份有限公司
研究主题:掺杂剂 掺杂 氧化层 N型 方块电阻
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唐云
供职机构:株洲南车时代电气股份有限公司
研究主题:高温退火 刻蚀 离子注入 氧化层 硅衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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