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杜龙欢
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株洲南车时代电气股份有限公司
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唐云
株洲南车时代电气股份有限公司
罗湘
株洲南车时代电气股份有限公司
孙小虎
株洲南车时代电气股份有限公司
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一种沟槽式IGBT栅极的制作方法
本申请公开了一种沟槽式IGBT栅极的制作方法,包括:在硅衬底表面进行刻蚀,形成沟槽;热氧化所述沟槽,在所述沟槽的内表面形成牺牲氧化层;对所述沟槽的底面注入可促进所述硅衬底氧化的杂质;去除所述牺牲氧化层;在所述沟槽内生长栅...
孙小虎
杜龙欢
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唐云
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