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孙健

作品数：3 被引量：0H指数：0
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合作作者

领域

  • 3个电子电信
  • 1个自动化与计算...
  • 1个理学

主题

  • 3个淀积
  • 3个乙硼烷
  • 3个制程
  • 3个硼烷
  • 3个重复利用
  • 3个接触孔
  • 3个介质层
  • 3个刻蚀
  • 2个导体
  • 1个单晶
  • 1个单晶薄膜
  • 1个氮化硅
  • 1个氮化硅薄膜
  • 1个导电类型
  • 1个导通
  • 1个导通电阻
  • 1个导通损耗
  • 1个导通压降
  • 1个低频
  • 1个低压化学气相...

机构

  • 3个杭州士兰集成...

资助

  • 2个国家科技重大...

传媒

  • 2个半导体技术
  • 1个中国集成电路
  • 1个2014`全...

地区

  • 3个浙江省
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罗宁
供职机构：杭州士兰集成电路有限公司
研究主题：乙硼烷 掺硼 布线结构 保质期 半导体制程
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李志栓
供职机构：杭州士兰集成电路有限公司
研究主题：沟槽 深槽刻蚀 刻蚀 乙硼烷 掺硼
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨彦涛
供职机构：杭州士兰集成电路有限公司
研究主题：沟槽 功率器件 接触孔 功率半导体器件 半导体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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