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孙健
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杭州士兰集成电路有限公司
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杨彦涛
杭州士兰集成电路有限公司
罗宁
杭州士兰集成电路有限公司
李志栓
杭州士兰集成电路有限公司
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罗宁
供职机构:杭州士兰集成电路有限公司
研究主题:乙硼烷 掺硼 布线结构 保质期 半导体制程
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李志栓
供职机构:杭州士兰集成电路有限公司
研究主题:沟槽 深槽刻蚀 刻蚀 乙硼烷 掺硼
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杨彦涛
供职机构:杭州士兰集成电路有限公司
研究主题:沟槽 功率器件 接触孔 功率半导体器件 半导体
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